高純氮氣流量計選型方案（純度 99.99%/5N、半導體、電子、光伏、實驗室專用）

多欽儀表（上海）有限公司推薦

高純氮氣核心要求：內壁無析出、無粉塵污染、極低泄漏、全程干燥潔凈，過流件必須采用電解拋光 316L EP 不銹鋼，密封選用 FFKM 全氟橡膠，杜絕雜質污染氮氣純度；主流分 4 類儀表，按流量、精度、管徑區分選用。

高純氮氣流量計分類介紹：

一、優選：潔凈型熱式氣體質量流量計（工業高純氮總管 / 分支通用）

1. 測量原理

2. 高純專用潔凈結構要求

• 管體、探桿：316L EP 電解拋光，內壁 Ra≤0.4μm、不積塵、不析出金屬微粒；

• 傳感器探頭 316L 不銹鋼，無普通涂層脫落風險；

• 密封件 FFKM 全氟橡膠，不釋放有機物污染高純氣；

• 法蘭采用 RF 突面 / 卡箍衛生連接，無溝槽死角；

• 出廠真空吹掃、潔凈包裝，安裝前可在線吹掃。

3. 兩種結構

1. 管段一體式（DN15~DN200 制氮純化出口、車間高純氮支管）

   整機出廠標定，精度 ±1.0% FS，量程比 100:1，微小置換、吹掃流量均可計量；自帶就地液晶顯示瞬時 / 累積。

2. 

3. 插入式潔凈熱式（DN300 以上廠區高純氮主干改造）

   帶壓球閥底座，可抽出探頭清洗，不停產維護；探桿 EP 拋光，大口徑造價更低，壓損幾乎為零。

4. 

4. 適用場景

1. 制氮機純化塔出口總高純氮計量；

2. 半導體、光伏、鋰電池生產線氮封、吹掃、載氣；

3. 醫藥潔凈車間無菌保護氣、反應釜高純氮置換；

4. 多支路高純氮氣能耗分攤統計。

優缺點

二、超高精度貿易 / 實驗室：科里奧利（科氏）質量流量計

1. 核心優勢

2. 潔凈配置

3. 局限

適用：高純氮貿易結算、半導體精密配氣、液氮汽化高純氮計量。

三、中大流量穩定輸送：潔凈型溫壓補償渦街流量計

1. 結構材質要求

2. 參數

適用場景

短板：下限流速存在測量盲區，微量吹掃流量無法精準計量。

四、小管徑就地目視監測：潔凈金屬管浮子流量計

1. 潔凈配置

2. 參數

適用：單臺設備微量高純氮吹掃、實驗室支路簡易流量觀測，僅人工巡檢，不做高精度能耗結算。

五、高純氮氣儀表統一強制材質規范（關鍵，避免純度下降）

1. 過流金屬件：316L EP 電解拋光不銹鋼，禁止普通 304、粗糙內壁；

2. 密封墊片：FFKM 全氟橡膠，禁用 NBR、EPDM 普通橡膠（易析出有機物）；

3. 管路配套閥門：波紋管閥 / 隔膜閥，禁止普通閘閥、截止閥（易產生金屬碎屑）；

4. 前置過濾：高純專用精密濾芯（0.01μm），攔截微量粉塵、水汽。

六、選型快速對照表

七、高純管路安裝專用規范

1. 直管段

• 管段熱式：上游≥10D，下游≥5D；插入熱式 / 渦街上游≥20D；流場紊亂加裝蜂窩整流器；

2. 管路配套（高純）

   上游高純精密過濾器、管道低點自動排水閥、前后波紋管切斷閥 + 旁路波紋管三通；振動管路加減振軟接頭；

3. 安裝姿態

   水平管道探頭置于管道上半區，防止微量冷凝水浸泡元件；垂直管道氣流自下而上；

4. 潔凈施工要求

   儀表進場全程防塵密封；安裝前整條管路氮氣吹掃置換；法蘭墊片一次性全新 FFKM，禁止重復使用；

5. 防爆潔凈車間

   法蘭銅編織防靜電跨接，整機獨立接地；防爆屏蔽線纜、防爆撓性管；檢修前斷電、氮氣置換管路，杜絕雜質、油污進入流道。

八、高純儀表維護特殊要求

1. 每周：檢查前置高純過濾器壓差，及時更換濾芯，排放微量冷凝水；

2. 每半年：拆洗熱式探頭、渦街發生體，全程無塵潔凈操作，使用高純氮氣吹掃；

3. 每年：高純氮氣介質實流標定，同時檢查 EP 內壁有無劃傷、密封是否老化；

4. 長期停機：管路持續小流量高純氮保壓吹掃，防止空氣、水汽滲入污染流道。

九、標準成套配置（DN200 純化塔出口高純氮熱式）

質保 2 年，價格為參考價；

可按需定制 PN40 高壓、卡箍衛生連接、NB-IoT 無線遠傳，支持高純氮氣介質標定、上門無塵吹掃安裝調試。