高純氮氣流量計選型方案（純度 99.99%/5N、半導(dǎo)體、電子、光伏、實驗室專用）

多欽儀表（上海）有限公司推薦

高純氮氣核心要求：內(nèi)壁無析出、無粉塵污染、極低泄漏、全程干燥潔凈，過流件必須采用電解拋光 316L EP 不銹鋼，密封選用 FFKM 全氟橡膠，杜絕雜質(zhì)污染氮氣純度；主流分 4 類儀表，按流量、精度、管徑區(qū)分選用。

高純氮氣流量計分類介紹：

一、優(yōu)選：潔凈型熱式氣體質(zhì)量流量計（工業(yè)高純氮總管 / 分支通用）

1. 測量原理

2. 高純專用潔凈結(jié)構(gòu)要求

• 管體、探桿：316L EP 電解拋光，內(nèi)壁 Ra≤0.4μm、不積塵、不析出金屬微粒；

• 傳感器探頭 316L 不銹鋼，無普通涂層脫落風(fēng)險；

• 密封件 FFKM 全氟橡膠，不釋放有機物污染高純氣；

• 法蘭采用 RF 突面 / 卡箍衛(wèi)生連接，無溝槽死角；

• 出廠真空吹掃、潔凈包裝，安裝前可在線吹掃。

3. 兩種結(jié)構(gòu)

1. 管段一體式（DN15~DN200 制氮純化出口、車間高純氮支管）

   整機出廠標定，精度 ±1.0% FS，量程比 100:1，微小置換、吹掃流量均可計量；自帶就地液晶顯示瞬時 / 累積。

2. 

3. 插入式潔凈熱式（DN300 以上廠區(qū)高純氮主干改造）

   帶壓球閥底座，可抽出探頭清洗，不停產(chǎn)維護；探桿 EP 拋光，大口徑造價更低，壓損幾乎為零。

4. 

4. 適用場景

1. 制氮機純化塔出口總高純氮計量；

2. 半導(dǎo)體、光伏、鋰電池生產(chǎn)線氮封、吹掃、載氣；

3. 醫(yī)藥潔凈車間無菌保護氣、反應(yīng)釜高純氮置換；

4. 多支路高純氮氣能耗分攤統(tǒng)計。

優(yōu)缺點

二、超高精度貿(mào)易 / 實驗室：科里奧利（科氏）質(zhì)量流量計

1. 核心優(yōu)勢

2. 潔凈配置

3. 局限

適用：高純氮貿(mào)易結(jié)算、半導(dǎo)體精密配氣、液氮汽化高純氮計量。

三、中大流量穩(wěn)定輸送：潔凈型溫壓補償渦街流量計

1. 結(jié)構(gòu)材質(zhì)要求

2. 參數(shù)

適用場景

短板：下限流速存在測量盲區(qū)，微量吹掃流量無法精準計量。

四、小管徑就地目視監(jiān)測：潔凈金屬管浮子流量計

1. 潔凈配置

2. 參數(shù)

適用：單臺設(shè)備微量高純氮吹掃、實驗室支路簡易流量觀測，僅人工巡檢，不做高精度能耗結(jié)算。

五、高純氮氣儀表統(tǒng)一強制材質(zhì)規(guī)范（關(guān)鍵，避免純度下降）

1. 過流金屬件：316L EP 電解拋光不銹鋼，禁止普通 304、粗糙內(nèi)壁；

2. 密封墊片：FFKM 全氟橡膠，禁用 NBR、EPDM 普通橡膠（易析出有機物）；

3. 管路配套閥門：波紋管閥 / 隔膜閥，禁止普通閘閥、截止閥（易產(chǎn)生金屬碎屑）；

4. 前置過濾：高純專用精密濾芯（0.01μm），攔截微量粉塵、水汽。

六、選型快速對照表

七、高純管路安裝專用規(guī)范

1. 直管段

• 管段熱式：上游≥10D，下游≥5D；插入熱式 / 渦街上游≥20D；流場紊亂加裝蜂窩整流器；

2. 管路配套（高純）

   上游高純精密過濾器、管道低點自動排水閥、前后波紋管切斷閥 + 旁路波紋管三通；振動管路加減振軟接頭；

3. 安裝姿態(tài)

   水平管道探頭置于管道上半?yún)^(qū)，防止微量冷凝水浸泡元件；垂直管道氣流自下而上；

4. 潔凈施工要求

   儀表進場全程防塵密封；安裝前整條管路氮氣吹掃置換；法蘭墊片一次性全新 FFKM，禁止重復(fù)使用；

5. 防爆潔凈車間

   法蘭銅編織防靜電跨接，整機獨立接地；防爆屏蔽線纜、防爆撓性管；檢修前斷電、氮氣置換管路，杜絕雜質(zhì)、油污進入流道。

八、高純儀表維護特殊要求

1. 每周：檢查前置高純過濾器壓差，及時更換濾芯，排放微量冷凝水；

2. 每半年：拆洗熱式探頭、渦街發(fā)生體，全程無塵潔凈操作，使用高純氮氣吹掃；

3. 每年：高純氮氣介質(zhì)實流標定，同時檢查 EP 內(nèi)壁有無劃傷、密封是否老化；

4. 長期停機：管路持續(xù)小流量高純氮保壓吹掃，防止空氣、水汽滲入污染流道。

九、標準成套配置（DN200 純化塔出口高純氮熱式）

質(zhì)保 2 年，價格為參考價；

可按需定制 PN40 高壓、卡箍衛(wèi)生連接、NB-IoT 無線遠傳，支持高純氮氣介質(zhì)標定、上門無塵吹掃安裝調(diào)試。