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微小氣體質(zhì)量流量計(jì)

微小氣體質(zhì)量流量計(jì),專為微小流量、精密測控場景打造,MEMS 芯片直測質(zhì)量流量,無需溫壓補(bǔ)償,小口徑即裝即用。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-05-20
  • 訪  問  量:2406
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產(chǎn)品詳情

微小氣體質(zhì)量流量計(jì)|多欽儀表(上海)有限公司

專為微小流量、精密測控場景打造,MEMS 芯片直測質(zhì)量流量,無需溫壓補(bǔ)償,小口徑即裝即用。


一、核心亮點(diǎn)|優(yōu)勢舉例

? MEMS 微傳感:高精度、高靈敏、零點(diǎn)穩(wěn)定

? 無需溫壓補(bǔ)償:直接測質(zhì)量流量,誤差更低

? 超寬量程比 1:100:微流量不漏測,大流量不超程

? 快至 50ms 響應(yīng):瞬態(tài)波動實(shí)時(shí)捕捉

? LCD 雙顯:瞬時(shí)流量 + 累計(jì)流量一目了然

? 多信號輸出:4?20mA / 0?5V / 0?10V / RS485(Modbus)

? 標(biāo)準(zhǔn)螺紋接口:PT1/2、G1/4,安裝零門檻

? 小體積適配:DN8/DN15 管路,空間緊湊也能用


二、產(chǎn)品概述

微小氣體質(zhì)量流量計(jì),采用熱擴(kuò)散原理 + MEMS 流量芯片,面向小流量、清潔氣體的精密測量與過程控制。獨(dú)特封裝兼容多管徑,免溫壓補(bǔ)償、低功耗、易安裝,全面替代傳統(tǒng)容積式、差壓式流量計(jì),廣泛用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、實(shí)驗(yàn)室、電子制程等精密場景。


三、技術(shù)參數(shù)|選型推薦

參數(shù)項(xiàng)規(guī)格
工作電源DC24V/2.5W
測量精度±1.0%FS
量程范圍0.3NmL/min ~ 1000NL/min
量程比1:100
響應(yīng)時(shí)間50ms
介質(zhì)溫度-10~55℃
工作壓力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
輸出信號4?20mA / 1~5V / 0?5V / 0?10V
通訊接口RS485(Modbus RTU)
機(jī)械接口PT1/2、G1/4 內(nèi)螺紋(可定制)
適用管徑DN8、DN15
防護(hù)等級IP40
顯示LCD 瞬時(shí) + 累計(jì)流量
預(yù)熱時(shí)間3?4 分鐘
標(biāo)況溫度0℃/20℃/25℃可調(diào),默認(rèn) 25℃
適用氣體Air、N?、O?、CH?、Ar、CO?、He、H?、C?H?(其他可定制)


四、核心優(yōu)勢|為什么選我們


1. 測量更準(zhǔn)更穩(wěn)

  • MEMS 芯片,抗干擾、重復(fù)性好

  • 零點(diǎn)長期穩(wěn)定,免頻繁校準(zhǔn)

  • 直接質(zhì)量流量,不受溫壓波動影響


2. 使用更省心

  • 標(biāo)準(zhǔn)螺紋 + 轉(zhuǎn)接接頭,水平 / 垂直均可裝

  • 控制閥建議裝下游,保留前后直管段更穩(wěn)定

  • 大屏 LCD,讀數(shù)直觀,累積 / 瞬時(shí)同屏看


3. 接入更靈活

  • 模擬量 + 數(shù)字量雙輸出,PLC / 觸摸屏 / 上位機(jī)全兼容

  • 可擴(kuò)展 PNP 報(bào)警輸出,上下限超限提醒

  • Modbus 標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,多臺組網(wǎng)更方便


4. 場景更適配

  • 微流量起步0.3NmL/min,泄漏 / 微量供氣精準(zhǔn)測

  • 小口徑 DN8/DN15,實(shí)驗(yàn)室 / 設(shè)備集成

  • 多種氣體標(biāo)定,一機(jī)多用,降低成本


五、應(yīng)用場景|全覆蓋

  • 半導(dǎo)體:制程供氣、尾氣監(jiān)測、腔體吹掃

  • 醫(yī)療生物:呼吸機(jī)、麻醉機(jī)、氧療設(shè)備流量控制

  • 實(shí)驗(yàn)室:氣相色譜、微反應(yīng)、氣體發(fā)生裝置

  • 電子汽車:鋰電池注液、檢漏、微量載氣

  • 工業(yè)制氣:氮?dú)?/ 氧氣 / 氬氣小流量配比與監(jiān)控

  • 航空航天:精密氣路、泄漏檢測、環(huán)境模擬


六、安裝須知|穩(wěn)定可靠

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可

  • 閥門布局:控制閥、切斷閥裝在流量計(jì)下游

  • 直管段:保留足夠前后直管段,保證流場穩(wěn)定

  • 轉(zhuǎn)接可選:卡套接頭、快插接頭、寶塔接頭

  • 嚴(yán)禁超量程使用,避免損壞 MEMS 芯片


七、質(zhì)保與服務(wù)

  • 2 周內(nèi):質(zhì)量問題免費(fèi)更換

  • 1 年內(nèi):正常使用故障免費(fèi)維修

  • 不在保修:違規(guī)安裝 / 接線、自行拆機(jī)、人為損壞、超期老化、不可抗力


八、選型指南|簡單 3 步

  1. 確定流量范圍:0.3NmL/min~1000NL/min

  2. 確定管路口徑:DN8 / DN15

  3. 確定輸出方式:模擬量 / RS485/PNP


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