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微小熱式氣體質量流量計

微小熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理 + MEMS 流量芯片,面向小流量、清潔氣體的精密測量與過程控制。獨特封裝兼容多管徑,免溫壓補償、低功耗、易安裝,全面替代傳統容積式、差壓式流量計,廣泛用于半導體、醫療、實驗室、電子制程等精密場景。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-05-20
  • 訪  問  量:2757
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產品詳情

微小熱式氣體質量流量計|HJAWM?YT 系列詳情頁    多欽儀表(上海)有限公司選型推薦

專為微小流量、精密測控場景打造,MEMS 芯片直測質量流量,無需溫壓補償,小口徑即裝即用。


一、核心亮點|您的專屬需要

MEMS 微傳感:高精度、高靈敏、零點穩定

無需溫壓補償:直接測質量流量,誤差更低

超寬量程比 1:100:微流量不漏測,大流量不超程

快至 50ms 響應:瞬態波動實時捕捉

LCD 雙顯:瞬時流量 + 累計流量一目了然

多信號輸出:4?20mA / 0?5V / 0?10V / RS485(Modbus)

標準螺紋接口:PT1/2、G1/4,安裝零門檻

小體積適配:DN8/DN15 管路,空間緊湊也能用

微小熱式氣體質量流量計

微小熱式氣體質量流量計

微小熱式氣體質量流量計



二、產品概述

微小熱式氣體質量流量計,采用熱擴散原理 + MEMS 流量芯片,面向小流量、清潔氣體的精密測量與過程控制。獨特封裝兼容多管徑,免溫壓補償、低功耗、易安裝,全面替代傳統容積式、差壓式流量計,廣泛用于半導體、醫療、實驗室、電子制程等精密場景。


三、技術參數|計量穩定

參數項規格
工作電源DC24V/2.5W
測量精度±1.0%FS
量程范圍0.3NmL/min ~ 1000NL/min
量程比1:100
響應時間50ms
介質溫度-10~55℃
工作壓力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
輸出信號4?20mA / 1~5V / 0?5V / 0?10V
通訊接口RS485(Modbus RTU)
機械接口PT1/2、G1/4 內螺紋(可定制)
適用管徑DN8、DN15
防護等級IP40
顯示LCD 瞬時 + 累計流量
預熱時間3?4 分鐘
標況溫度0℃/20℃/25℃可調,默認 25℃
適用氣體Air、N?、O?、CH?、Ar、CO?、He、H?、C?H?(其他可定制)


四、核心優勢|為什么選我們

1. 測量更準更穩

  • MEMS 芯片,抗干擾、重復性好

  • 零點長期穩定,免頻繁校準

  • 直接質量流量,不受溫壓波動影響


2. 使用更省心

  • 標準螺紋 + 轉接接頭,水平 / 垂直均可裝

  • 控制閥建議裝下游,保留前后直管段更穩定

  • 大屏 LCD,讀數直觀,累積 / 瞬時同屏看


3. 接入更靈活

  • 模擬量 + 數字量雙輸出,PLC / 觸摸屏 / 上位機全兼容

  • 可擴展 PNP 報警輸出,上下限超限提醒

  • Modbus 標準協議,多臺組網更方便


4. 場景更適配

  • 微流量起步0.3NmL/min,泄漏 / 微量供氣精準測

  • 小口徑 DN8/DN15,實驗室 / 設備集成

  • 多種氣體標定,一機多用,降低成本


六、應用場景|全覆蓋

  • 半導體:制程供氣、尾氣監測、腔體吹掃

  • 實驗室:氣相色譜、微反應、氣體發生裝置

  • 電子汽車:鋰電池注液、檢漏、微量載氣

  • 工業制氣:氮氣 / 氧氣 / 氬氣小流量配比與監控

  • 航空航天:精密氣路、泄漏檢測、環境模擬


七、安裝須知|穩定可靠

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可

  • 閥門布局:控制閥、切斷閥裝在流量計下游

  • 直管段:保留足夠前后直管段,保證流場穩定

  • 轉接可選:卡套接頭、快插接頭、寶塔接頭

  • 嚴禁超量程使用,避免損壞 MEMS 芯片


八、質保與服務

  • 2 周內:質量問題免費更換

  • 1 年內:正常使用故障免費維修

  • 不在保修:違規安裝 / 接線、自行拆機、人為損壞、超期老化、不可抗力


九、選型指南|簡單 3 步

  1. 確定流量范圍:0.3NmL/min~1000NL/min

  2. 確定管路口徑:DN8 / DN25

  3. 確定輸出方式:模擬量 / RS485/PNP


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