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DN15高精密閥控氣體質量流量計

DN15高精密閥控氣體質量流量計,采用 MEMS 熱式質量流量芯片,集流量測量、閉環控制、電動調節閥于一體,專為 DN15 工業管路、精密供氣、氣體配比等場景設計。無需溫度壓力補償,直接輸出質量流量,響應快、穩定性強,可實現全自動流量恒定控制,廣泛用于半導體、實驗室、醫療、新能源、工業自動化等領域。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-05-21
  • 訪  問  量:1238
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產品詳情

DN15高精密閥控氣體質量流量計(DN15)產品詳情頁

DN15 閥控一體式 | 高精度 MEMS 熱式質量流量控制


一、核心賣點

DN15 標準口徑,工業管路直接安裝

閥控一體:測量 + PID 閉環控制 + 電磁閥調節

超高精度:±0.5% FS,重復性 ±0.1% FS

MEMS 熱式傳感,無需溫壓補償

LCD 顯示 + 按鍵本地設置

4?20mA + RS485 (Modbus) 雙輸出

適用多種清潔氣體,出廠標定

小流量到大流量穩定控制



二、產品簡介

本款DN15高精密閥控氣體質量流量計,采用 MEMS 熱式質量流量芯片,集流量測量、閉環控制、電動調節閥于一體,專為 DN15 工業管路、精密供氣、氣體配比等場景設計。無需溫度壓力補償,直接輸出質量流量,響應快、穩定性強,可實現全自動流量恒定控制,廣泛用于半導體、實驗室、醫療、新能源、工業自動化等領域。




三、核心技術參數

項目指標
公稱通徑DN15
測量原理MEMS 熱式氣體質量流量
控制方式內置電磁閥 + PID 閉環自動控制
測量精度±0.5%FS
控制精度±1.0%FS
重復性±0.1%FS
量程比1:100
響應時間≤50ms
流量量程0~1000 NL/min(可定制)
最小分辨率0.1 NL/min
工作電源DC24V / 2.5W
介質溫度-10℃ ~ +55℃
工作壓力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
輸出信號4-20mA / RS485 Modbus RTU
接口形式G1/2、PT1/2 內螺紋(標準)
閥體材質不銹鋼 304 / 316L
顯示LCD:瞬時流量 + 累計流量
適用氣體Air、N?、O?、Ar、CO?、H?、He、CH? 等
防護等級IP40
安裝方式水平 / 垂直均可



四、產品優勢

1. 超高精度,控制更穩

  • MEMS 芯片,零點穩定、長期不漂移

  • 閉環 PID 自動調節,上游壓力波動也能穩流

  • 精度達 **±0.5% FS**,滿足精密工況

2. 閥控一體,省去外接閥門

  • 流量計 + 控制閥集成一體

  • 減少泄漏點,安裝更簡單

  • 一套設備實現:測流量 → 控流量 → 發信號

3. DN15 工業標準口徑,即裝即用

  • 標準 G1/2 螺紋,適配絕大多數工業氣路

  • 無需變徑、不用改裝,直接接入管路

  • 水平 / 垂直安裝都能用

4. 信號齊全,接入系統超方便

  • 4?20mA 模擬量 → PLC / 儀表直連

  • RS485 (Modbus) → 上位機 / 觸摸屏組網

  • 本地 LCD 顯示,不用電腦也能調試

5. 多氣體兼容,一機多用

  • 支持空氣、氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣等

  • 出廠精準標定,通電即可使用

  • 可自定義介質密度與儀表系數


五、功能介紹

  • 瞬時流量 + 累計流量雙顯示

  • 本地按鍵設置:量程、單位、報警、系數、通訊參數

  • PID 自動控制:流量穩定在設定值

  • 4?20mA/RS485 雙輸出

  • 小信號切除、阻尼調節、報警輸出

  • 累計量一鍵清零


六、安裝要求

  • 建議控制閥裝在流量計下游

  • 保留前直管段≥5D,后直管段≥3D

  • 介質流向與閥體箭頭一致

  • 禁止超量程、超壓使用


七、應用場景

  • 半導體 / 電子制程供氣

  • 實驗室精密氣體配比、微反應控制

  • 新能源:鋰電池、燃料電池供氣

  • 工業氣體混合、燃燒控制

  • 泄漏檢測、腔體吹掃、載氣控制


八、質保服務

  • 2 周質量問題免費換新

  • 1 年免費保修

  • 提供選型、接線、調試全程技術支持

  • 可定制:量程、氣體、接口、高壓、防腐


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