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DN15高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)

DN15高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì),采用 MEMS 熱式質(zhì)量流量芯片,集流量測量、閉環(huán)控制、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥于一體,專為 DN15 工業(yè)管路、精密供氣、氣體配比等場景設(shè)計(jì)。無需溫度壓力補(bǔ)償,直接輸出質(zhì)量流量,響應(yīng)快、穩(wěn)定性強(qiáng),可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)流量恒定控制,廣泛用于半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療、新能源、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-05-21
  • 訪  問  量:1300
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產(chǎn)品詳情

DN15高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)(DN15)產(chǎn)品詳情頁

DN15 閥控一體式 | 高精度 MEMS 熱式質(zhì)量流量控制


一、核心賣點(diǎn)

DN15 標(biāo)準(zhǔn)口徑,工業(yè)管路直接安裝

閥控一體:測量 + PID 閉環(huán)控制 + 電磁閥調(diào)節(jié)

超高精度:±0.5% FS,重復(fù)性 ±0.1% FS

MEMS 熱式傳感,無需溫壓補(bǔ)償

LCD 顯示 + 按鍵本地設(shè)置

4?20mA + RS485 (Modbus) 雙輸出

適用多種清潔氣體,出廠標(biāo)定

小流量到大流量穩(wěn)定控制



二、產(chǎn)品簡介

本款DN15高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì),采用 MEMS 熱式質(zhì)量流量芯片,集流量測量、閉環(huán)控制、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥于一體,專為 DN15 工業(yè)管路、精密供氣、氣體配比等場景設(shè)計(jì)。無需溫度壓力補(bǔ)償,直接輸出質(zhì)量流量,響應(yīng)快、穩(wěn)定性強(qiáng),可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)流量恒定控制,廣泛用于半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療、新能源、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。




三、核心技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目指標(biāo)
公稱通徑DN15
測量原理MEMS 熱式氣體質(zhì)量流量
控制方式內(nèi)置電磁閥 + PID 閉環(huán)自動(dòng)控制
測量精度±0.5%FS
控制精度±1.0%FS
重復(fù)性±0.1%FS
量程比1:100
響應(yīng)時(shí)間≤50ms
流量量程0~1000 NL/min(可定制)
最小分辨率0.1 NL/min
工作電源DC24V / 2.5W
介質(zhì)溫度-10℃ ~ +55℃
工作壓力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
輸出信號(hào)4-20mA / RS485 Modbus RTU
接口形式G1/2、PT1/2 內(nèi)螺紋(標(biāo)準(zhǔn))
閥體材質(zhì)不銹鋼 304 / 316L
顯示LCD:瞬時(shí)流量 + 累計(jì)流量
適用氣體Air、N?、O?、Ar、CO?、H?、He、CH? 等
防護(hù)等級IP40
安裝方式水平 / 垂直均可



四、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 超高精度,控制更穩(wěn)

  • MEMS 芯片,零點(diǎn)穩(wěn)定、長期不漂移

  • 閉環(huán) PID 自動(dòng)調(diào)節(jié),上游壓力波動(dòng)也能穩(wěn)流

  • 精度達(dá) **±0.5% FS**,滿足精密工況

2. 閥控一體,省去外接閥門

  • 流量計(jì) + 控制閥集成一體

  • 減少泄漏點(diǎn),安裝更簡單

  • 一套設(shè)備實(shí)現(xiàn):測流量 → 控流量 → 發(fā)信號(hào)

3. DN15 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)口徑,即裝即用

  • 標(biāo)準(zhǔn) G1/2 螺紋,適配絕大多數(shù)工業(yè)氣路

  • 無需變徑、不用改裝,直接接入管路

  • 水平 / 垂直安裝都能用

4. 信號(hào)齊全,接入系統(tǒng)超方便

  • 4?20mA 模擬量 → PLC / 儀表直連

  • RS485 (Modbus) → 上位機(jī) / 觸摸屏組網(wǎng)

  • 本地 LCD 顯示,不用電腦也能調(diào)試

5. 多氣體兼容,一機(jī)多用

  • 支持空氣、氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻⒑獾?/span>

  • 出廠精準(zhǔn)標(biāo)定,通電即可使用

  • 可自定義介質(zhì)密度與儀表系數(shù)


五、功能介紹

  • 瞬時(shí)流量 + 累計(jì)流量雙顯示

  • 本地按鍵設(shè)置:量程、單位、報(bào)警、系數(shù)、通訊參數(shù)

  • PID 自動(dòng)控制:流量穩(wěn)定在設(shè)定值

  • 4?20mA/RS485 雙輸出

  • 小信號(hào)切除、阻尼調(diào)節(jié)、報(bào)警輸出

  • 累計(jì)量一鍵清零


六、安裝要求

  • 建議控制閥裝在流量計(jì)下游

  • 保留前直管段≥5D,后直管段≥3D

  • 介質(zhì)流向與閥體箭頭一致

  • 禁止超量程、超壓使用


七、應(yīng)用場景

  • 半導(dǎo)體 / 電子制程供氣

  • 實(shí)驗(yàn)室精密氣體配比、微反應(yīng)控制

  • 新能源:鋰電池、燃料電池供氣

  • 工業(yè)氣體混合、燃燒控制

  • 泄漏檢測、腔體吹掃、載氣控制


八、質(zhì)保服務(wù)

  • 2 周質(zhì)量問題免費(fèi)換新

  • 1 年免費(fèi)保修

  • 提供選型、接線、調(diào)試全程技術(shù)支持

  • 可定制:量程、氣體、接口、高壓、防腐


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