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氮?dú)庥觅|(zhì)量流量計(jì)

氮?dú)庥觅|(zhì)量流量計(jì),基于熱擴(kuò)散原理,專為干燥潔凈氮?dú)狻⒏呒兊獨(dú)狻⑽⒘?/ 小流量氮?dú)庠O(shè)計(jì),直接測(cè)量質(zhì)量流量(Nm³/h/kg/h),無(wú)需溫壓補(bǔ)償,不受溫度、壓力波動(dòng)影響,是低壓、小流量、高純氮?dú)庥?jì)量的常用儀表。廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、電子、制藥、食品、冶金、實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)的氮?dú)獗Wo(hù)、供氣配比、充裝及能耗精準(zhǔn)計(jì)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-05-21
  • 訪  問(wèn)  量:1514
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產(chǎn)品詳情

氮?dú)庥觅|(zhì)量流量計(jì)(熱式氣體質(zhì)量流量計(jì))多欽儀表(上海)有限公司選型推薦


一、產(chǎn)品概述

氮?dú)鈱S脽崾綒怏w質(zhì)量流量計(jì),基于熱擴(kuò)散原理,專為干燥潔凈氮?dú)狻⒏呒兊獨(dú)狻⑽⒘?/ 小流量氮?dú)?/span>設(shè)計(jì),直接測(cè)量質(zhì)量流量(Nm3/h/kg/h),無(wú)需溫壓補(bǔ)償,不受溫度、壓力波動(dòng)影響,是低壓、小流量、高純氮?dú)庥?jì)量的常用儀表。廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、電子、制藥、食品、冶金、實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)的氮?dú)獗Wo(hù)、供氣配比、充裝及能耗精準(zhǔn)計(jì)量。


二、測(cè)量原理

采用恒溫差熱擴(kuò)散技術(shù),傳感器含兩個(gè)鉑電阻(RTD):
  • 速度傳感器:加熱至高于介質(zhì)溫度的恒定溫差;

  • 溫度傳感器:實(shí)時(shí)感應(yīng)氮?dú)鉁囟龋詣?dòng)補(bǔ)償。

    氮?dú)饬鬟^(guò)傳感器時(shí)帶走熱量,維持溫差所需加熱功率與氮?dú)赓|(zhì)量流量成正比,直接換算標(biāo)方流量,無(wú)需溫壓補(bǔ)償。


三、核心優(yōu)勢(shì)(氮?dú)膺m配專屬)

  1. 直接質(zhì)量流量:無(wú)需溫壓補(bǔ)償,直接輸出 Nm3/h,適配氮?dú)鈮毫?/ 溫度波動(dòng)工況;

  2. 超高量程比100:1可測(cè)0.05m/s低流速,微小氮?dú)饬髁快`敏穩(wěn)定;

  3. 無(wú)壓損 / 低阻力:插入式 / 管段式設(shè)計(jì),接近零壓力損失,適配低壓氮?dú)夤艿溃?/span>

  4. 高純氮適配:316L 不銹鋼材質(zhì),無(wú)吸附、無(wú)污染,滿足半導(dǎo)體 / 制藥高純氮要求;

  5. 免維護(hù):無(wú)可動(dòng)部件,無(wú)磨損、無(wú)卡澀,長(zhǎng)期穩(wěn)定,年均維護(hù)成本低;

  6. 響應(yīng)快:響應(yīng)時(shí)間<1 秒,適配氮?dú)馀浔取?dòng)態(tài)流量控制場(chǎng)景。


四、技術(shù)參數(shù)(氮?dú)鈱S脴?biāo)定)

  • 精度等級(jí):管道式 ±0.5%~±1.0% FS;插入式 ±1.0%~±1.5% FS;

  • 公稱口徑:DN4~DN200(管道式);DN200~DN1000(插入式);

  • 流量范圍:0.01~1000Nm3/h(氮?dú)鈽?biāo)況:20℃/101.33kPa);

  • 介質(zhì)溫度:-20℃~+80℃(常規(guī));可定制 - 40℃~+150℃高溫款;

  • 工作壓力:0~1.6MPa(常規(guī));最高可定制 40MPa 高壓款;

  • 材質(zhì):接液 304/316L 不銹鋼;外殼鋁合金 / 不銹鋼;

  • 輸出信號(hào):4-20mA、RS485(Modbus)、HART、脈沖、液晶就地顯示;

  • 供電:24VDC 外供電;可選 3.6V 鋰電池(續(xù)航 2~5 年);

  • 防爆等級(jí):Ex d Ⅱ BT4、Ex ia Ⅱ BT6(適配防爆車間);

  • 重復(fù)性:±0.2% FS,長(zhǎng)期計(jì)量穩(wěn)定。

氮?dú)庥觅|(zhì)量流量計(jì)


五、氮?dú)獾湫蛻?yīng)用場(chǎng)景

  1. 半導(dǎo)體 / 電子:高純氮?dú)猓?9.999%)輸送、晶圓保護(hù)氣、腔體吹掃;

  2. 制藥 / 食品:氮?dú)獗ur、無(wú)菌氮?dú)夤狻⒎垠w輸送保護(hù)氣;

  3. 冶金 / 熱處理:爐內(nèi)氮?dú)獗Wo(hù)、密封氮?dú)狻⒋慊鸬獨(dú)馀浔龋?/span>

  4. 實(shí)驗(yàn)室 / 科研:微量氮?dú)馀浔取怏w分析儀供氣、小流量精準(zhǔn)控制;

  5. 空分 / 制氮:制氮機(jī)出口流量監(jiān)測(cè)、氮?dú)獬溲b、能耗統(tǒng)計(jì)。


六、氮?dú)庥觅|(zhì)量流量計(jì)選型指南(氮?dú)夤r匹配)

  • 微小 / 小流量(<10Nm3/h)、高純氮:選DN4~DN50 管道式,精度 ±0.5%,適配實(shí)驗(yàn)室 / 半導(dǎo)體;

  • 中小流量(10~100Nm3/h)、工業(yè)氮:選DN50~DN200 管道式,性價(jià)比高,適配廠區(qū)供氣;

  • 大口徑(>DN200)、低壓主管:選插入式,安裝便捷、成本低,適配制氮機(jī)總管;

  • 防爆車間 / 危險(xiǎn)區(qū)域:選隔爆 / 本安型,Ex d Ⅱ BT4,適配防爆氮?dú)夤艿馈?/span>


七、安裝要點(diǎn)(氮?dú)鉁y(cè)量精準(zhǔn)關(guān)鍵)

  1. 直管段:上游≥5DN、下游≥3DN,避免彎頭、閥門等擾動(dòng);

  2. 安裝方式:水平 / 垂直管道均可,傳感器探頭正對(duì)流向,避免氣泡 / 雜質(zhì)附著;

  3. 介質(zhì)潔凈:氮?dú)庑韪稍餄崈簦瑹o(wú)油、無(wú)水、無(wú)粉塵,防止傳感器污染;

  4. 遠(yuǎn)離振動(dòng):避開(kāi)泵、風(fēng)機(jī)等強(qiáng)振動(dòng)源,必要時(shí)加裝減振支架;

  5. 環(huán)境:避免陽(yáng)光直射、高溫(>80℃)、潮濕(濕度<95%)環(huán)境。


八、通用配置與定制

  • 標(biāo)準(zhǔn)配置:316L 傳感器、液晶顯示、4-20mA+RS485、24VDC 供電;

  • 定制服務(wù):高壓(≤40MPa)、高溫(≤150℃)、防爆、特殊口徑、氮?dú)鈱S脴?biāo)定、遠(yuǎn)程通訊(云端對(duì)接)。


九、售后保障

  • 質(zhì)保期2 年(非人為損壞);

  • 技術(shù)服務(wù):免費(fèi)工況選型、參數(shù)匹配、安裝指導(dǎo)、上門調(diào)試

  • 校準(zhǔn)服務(wù):每年 1 次免費(fèi)校準(zhǔn),高純氮工況每半年 1 次;

  • 價(jià)格說(shuō)明:以上為參考價(jià),最終報(bào)價(jià)以氮?dú)夤r(口徑、壓力、流量、純度)為準(zhǔn)。

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