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微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)

微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),是一款集熱式質(zhì)量流量測(cè)量、PID 閉環(huán)控制、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥執(zhí)行于一體的智能測(cè)控設(shè)備。采用熱擴(kuò)散原理 + MEMS 流量傳感芯片,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無(wú)需溫壓補(bǔ)償;配套高精度電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)調(diào)節(jié)與穩(wěn)定控制。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-05-21
  • 訪  問(wèn)  量:1241
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產(chǎn)品詳情

微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)  多欽儀表(上海)有限公司選型推薦

專為氣體精密測(cè)控與定量控制場(chǎng)景打造,集成熱式質(zhì)量流量測(cè)量 + 電動(dòng)調(diào)節(jié)閥閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)從流量監(jiān)測(cè)到精準(zhǔn)調(diào)節(jié)的一體化解決方案。


一、核心亮點(diǎn)|一眼看懂價(jià)值

? 測(cè)量 + 控制一體化:自帶電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)控制,無(wú)需額外閥門
? 微小流量精準(zhǔn)適配:MEMS 傳感芯片,支持 sccm~slm 級(jí)超小量程,無(wú)溫漂、無(wú)壓漂
? 自帶本地顯示與按鍵:瞬時(shí) / 累計(jì)流量 + 設(shè)定值同屏顯示,現(xiàn)場(chǎng)直接調(diào)試
? 全信號(hào)兼容:4-20mA/0-5V 模擬信號(hào) + RS485 Modbus 數(shù)字通訊,PLC 直連
? PID 智能閉環(huán)算法:流量波動(dòng)自動(dòng)修正,控制精度可達(dá) ±1.0% FS
? 標(biāo)準(zhǔn)螺紋接口:適配 DN8/DN15 管路,即裝即用,無(wú)需復(fù)雜改造
? 防爆 / 防腐可選:支持襯四氟、防爆外殼,適配腐蝕性氣體與危險(xiǎn)工況
? 多氣體標(biāo)定:支持氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻⒓淄榈榷喾N介質(zhì),可定制標(biāo)定


二、產(chǎn)品概述

微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),是一款集熱式質(zhì)量流量測(cè)量、PID 閉環(huán)控制、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥執(zhí)行于一體的智能測(cè)控設(shè)備。采用熱擴(kuò)散原理 + MEMS 流量傳感芯片,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無(wú)需溫壓補(bǔ)償;配套高精度電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)調(diào)節(jié)與穩(wěn)定控制。
設(shè)備廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室氣相配比、半導(dǎo)體制程供氣、醫(yī)療設(shè)備流量控制、工業(yè)氣體混合等場(chǎng)景,是傳統(tǒng) “流量計(jì) + 手動(dòng)閥 / 比例閥" 方案的理想升級(jí)替代。


三、技術(shù)參數(shù)|精準(zhǔn)可信

參數(shù)項(xiàng)規(guī)格說(shuō)明
測(cè)量原理熱式質(zhì)量流量(MEMS 傳感)
控制方式PID 閉環(huán)控制 + 電動(dòng)調(diào)節(jié)閥
測(cè)量精度±1.0%FS
控制精度±1.5%FS
重復(fù)性±0.2%FS
量程范圍0.01sccm ~ 1000NL/min(可定制微小 / 大量程)
量程比1:100(部分型號(hào)可達(dá) 1:200)
介質(zhì)溫度-10~60℃(可擴(kuò)展 - 20~120℃)
工作壓力≤1.6MPa(可定制高壓版)
工作電源DC24V ±10%
功耗≤8W
設(shè)定信號(hào)0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數(shù)字信號(hào)
反饋信號(hào)4-20mA / RS485 Modbus RTU
通訊協(xié)議Modbus RTU(標(biāo)準(zhǔn)),支持自定義協(xié)議
機(jī)械接口G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2(可定制)
閥體材質(zhì)不銹鋼 304/316L(可選襯四氟防腐)
防護(hù)等級(jí)IP65(可選防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga)
適用氣體空氣、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體,腐蝕性氣體可定制
預(yù)熱時(shí)間3~5 分鐘


四、核心優(yōu)勢(shì)|為什么選我們

1. 測(cè)量 + 控制一體化,省心高效

  • 流量計(jì)與調(diào)節(jié)閥集成設(shè)計(jì),省去單獨(dú)選型、安裝閥門的步驟,減少泄漏點(diǎn)

  • PID 閉環(huán)算法自動(dòng)修正流量波動(dòng),即使上游壓力波動(dòng),出口流量依然穩(wěn)定

  • 本地顯示 + 按鍵調(diào)試,無(wú)需上位機(jī)即可設(shè)置目標(biāo)流量、參數(shù)校準(zhǔn),現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試效率更高

2. 微小流量測(cè)量更精準(zhǔn)穩(wěn)定

  • MEMS 微傳感芯片,響應(yīng)速度快、零點(diǎn)長(zhǎng)期穩(wěn)定,免頻繁校準(zhǔn)

  • 直接測(cè)量質(zhì)量流量,不受介質(zhì)溫度、壓力波動(dòng)影響,測(cè)量誤差更小

  • 超小量程覆蓋,解決傳統(tǒng)設(shè)備難以穩(wěn)定測(cè)量的 sccm 級(jí)微量供氣場(chǎng)景

3. 適配更多復(fù)雜工況

  • 不銹鋼閥體 + 可選襯四氟防腐,適配弱腐蝕性氣體(如氨氣、硫化氫)

  • 可選防爆外殼與本安設(shè)計(jì),滿足化工、石化等危險(xiǎn)區(qū)域使用要求

  • 支持高壓定制,適配高壓氣瓶供氣、高壓反應(yīng)釜吹掃等場(chǎng)景

4. 集成與維護(hù)更便捷

  • 標(biāo)準(zhǔn)螺紋接口,適配實(shí)驗(yàn)室、設(shè)備集成等多種安裝場(chǎng)景

  • 支持多臺(tái)組網(wǎng)控制,通過(guò) RS485 實(shí)現(xiàn)多通道氣體配比自動(dòng)化

  • 關(guān)鍵部件采用進(jìn)口電動(dòng)調(diào)節(jié)閥芯,壽命長(zhǎng)、維護(hù)成本低,支持故障自診斷


五、功能與操作|快速上手

1. 面板按鍵與顯示

  • 顯示界面:主界面顯示瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、目標(biāo)設(shè)定值;參數(shù)界面顯示介質(zhì)、單位、通訊參數(shù)等

  • 按鍵功能

    • 設(shè)定鍵:修改目標(biāo)流量值、切換控制模式(本地 / 遠(yuǎn)程)

    • 菜單鍵:進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面(量程、單位、PID 參數(shù)、通訊地址)

    • 確認(rèn) / 退出鍵:保存設(shè)置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

  • 默認(rèn)通訊參數(shù):9600bps,8 數(shù)據(jù)位,無(wú)校驗(yàn),1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置項(xiàng):設(shè)備地址、波特率、校驗(yàn)方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標(biāo)況溫度、報(bào)警閾值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通過(guò)面板按鍵直接設(shè)定目標(biāo)流量,調(diào)節(jié)閥自動(dòng)調(diào)節(jié)

    • 遠(yuǎn)程控制:通過(guò)模擬量信號(hào)或 RS485 數(shù)字信號(hào)設(shè)定目標(biāo)流量,實(shí)現(xiàn)上位機(jī) / PLC 自動(dòng)化控制

3. 安裝與接線說(shuō)明

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,建議介質(zhì)流向與閥體標(biāo)注方向一致

  • 安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場(chǎng)穩(wěn)定

  • 接線接口:航空插頭 / 端子排可選,支持電源、信號(hào)、通訊一體化接線,防松防脫落


六、典型應(yīng)用場(chǎng)景|全覆蓋

  • 實(shí)驗(yàn)室科研:氣相色譜儀、微反應(yīng)裝置氣體配比、催化劑測(cè)試供氣控制

  • 半導(dǎo)體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導(dǎo)體設(shè)備工藝供氣

  • 醫(yī)療與生物設(shè)備:呼吸機(jī)氧流量控制、麻醉機(jī)氣體配比、醫(yī)用制氧設(shè)備流量調(diào)節(jié)

  • 工業(yè)自動(dòng)化:氣體混合配比、檢漏測(cè)試、燃燒過(guò)程控制、精密噴涂供氣

  • 新能源行業(yè):鋰電池注液保護(hù)氣控制、燃料電池供氣測(cè)試、氫能加注流量控制

  • 化工行業(yè):弱腐蝕性氣體微量控制、反應(yīng)釜吹掃、尾氣監(jiān)測(cè)


七、選型指南|3 步精準(zhǔn)匹配

  1. 確定氣體介質(zhì)標(biāo)況單位(sccm/slm/NL/min)

  2. 確定流量控制范圍(如 0~100sccm、0~5slm)與工作壓力 / 溫度

  3. 確定控制與信號(hào)方式(本地 / 遠(yuǎn)程控制、模擬量 / 數(shù)字量輸出)及特殊工況需求(防腐 / 防爆)


八、質(zhì)保與售后

  • 出廠前全流程標(biāo)定與老化測(cè)試,確保性能穩(wěn)定可靠

  • 質(zhì)保期:2 年質(zhì)保,非人為損壞故障免費(fèi)維修 / 更換

  • 提供全程技術(shù)支持:選型咨詢、接線指導(dǎo)、參數(shù)調(diào)試、現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)支持

  • 可定制服務(wù):量程定制、氣體標(biāo)定、接口定制、特殊工況適配(高壓 / 防爆 / 防腐)

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