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高精密閥控氣體流量控制器

高精密閥控氣體流量控制器(DN8/DN15)是一款專為工業氣體管路設計的一體化測控設備,采用熱式 MEMS 傳感技術直接測量氣體質量流量,無需溫壓補償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實現流量的閉環調節,確保輸出流量穩定在設定值。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-05-21
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產品詳情

高精密閥控氣體流量控制器(DN8/DN15) 多欽儀表(上海)有限公司選型推薦

專為微小至中小流量氣體精密測控場景打造,集MEMS 熱式質量流量測量 + PID 閉環控制 + 高精度電磁閥于一體,DN8/DN15 雙口徑可選,實現免溫壓補償、高精度、高穩定性的流量閉環管理。


一、核心亮點(雙口徑通用)

? 閥控一體化設計:測量 + 控制 + 反饋三合一,無需額外配置調節閥
? 超高精度測量:±0.5% FS 測量精度,±0.1% FS 重復性,滿足嚴苛工況
? 雙口徑可選:DN8(微小流量)/DN15(中小流量),適配不同管路場景
? MEMS 熱式傳感:直接測量質量流量,無需溫壓補償,零點長期穩定
? 本地顯示 + 按鍵調試:LCD 屏實時顯示流量與設定值,現場即可完成參數配置
? 全信號兼容:4-20mA/0-5V 模擬信號 + RS485 Modbus 數字通訊,PLC / 上位機直連
? PID 智能閉環算法:自動修正上游壓力波動,流量控制精度可達 ±1.0% FS
? 標準工業接口:不銹鋼內螺紋 / 卡套接口,安裝便捷,適配多種管路


二、產品概述

高精密閥控氣體流量控制器(DN8/DN15)是一款專為工業氣體管路設計的一體化測控設備,采用熱式 MEMS 傳感技術直接測量氣體質量流量,無需溫壓補償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實現流量的閉環調節,確保輸出流量穩定在設定值。
  • DN8 型號:專為微小流量場景優化,適配 sccm~slm 級超小量程,解決實驗室、半導體等場景的微量供氣控制難題

  • DN15 型號:適配中小流量工業場景,支持 NL/min 級量程,廣泛用于工業氣體配比、新能源設備供氣等場景

設備廣泛應用于實驗室氣相配比、半導體腔體吹掃、醫療設備氣體控制、工業微量供氣等場景,可替代傳統 “流量計 + 手動閥 / 比例閥" 的組合方案,大幅提升流量控制精度與自動化水平。


三、技術參數(分口徑對比)

高精密閥控氣體流量控制器


四、核心優勢

1. 高精度、高穩定性的微小 / 中小流量控制

  • DN8/DN15 專用流道設計,優化流場分布,避免小口徑管路常見的流場畸變問題

  • MEMS 傳感芯片,響應速度快,零點長期穩定,免頻繁校準

  • 內置智能 PID 算法,自動修正上游壓力波動帶來的流量偏差,控制精度行業

2. 閥控一體化,集成度更高

  • 流量計與電磁閥集成設計,減少管路連接點,降低泄漏風險

  • 無需額外配置調節閥,一套設備即可完成 “測量 + 控制 + 反饋" 全流程

  • 體積小巧,適配設備集成、機柜安裝等緊湊空間

3. 雙口徑覆蓋,場景適配更靈活

  • DN8 型號:專注微小流量場景,解決傳統設備難以穩定測量的 sccm 級微量供氣需求

  • DN15 型號:適配工業中小流量場景,滿足氣體配比、燃燒控制等常規工業需求

  • 雙口徑統一技術平臺,維護與調試流程一致,降低用戶學習成本

4. 操作與調試更便捷

  • 自帶 LCD 顯示與按鍵,本地可查看瞬時 / 累計流量、設定目標值、配置通訊參數

  • 支持本地 / 遠程雙控制模式,現場調試與自動化控制靈活切換

  • 出廠前已完成氣體標定,安裝后無需額外校準,通電即可使用


五、功能與操作

1. 面板按鍵與顯示

  • 顯示界面:主界面顯示瞬時流量、設定值、單位;參數界面顯示介質、通訊參數、PID 參數

  • 按鍵功能

    • 設定鍵:修改目標流量值、切換控制模式

    • 菜單鍵:進入參數設置界面(量程、單位、通訊地址、PID 參數)

    • 確認 / 退出鍵:保存設置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

  • 默認通訊參數:9600bps,8 數據位,無校驗,1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置項:設備地址、波特率、校驗方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標況溫度、報警閾值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通過面板按鍵直接設定目標流量,電磁閥自動調節

    • 遠程控制:通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量,實現自動化控制

3. 安裝與接線說明

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,介質流向需與閥體標注方向一致

  • 安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場穩定

  • 接線接口:DB9 航空插頭,支持電源、信號、通訊一體化接線


六、典型應用場景

  • 實驗室科研:氣相色譜儀、微反應裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制

  • 半導體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導體設備工藝供氣

  • 醫療與生物設備:呼吸機氧流量控制、麻醉機氣體配比、醫用制氧設備流量調節

  • 工業自動化:氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

  • 新能源行業:鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試

  • 精密儀器校準:氣體流量標準裝置、檢漏儀流量校準


七、選型指南(3 步精準匹配)

  1. 確定氣體介質標況單位(sccm/slm/NL/min)

  2. 確定流量控制范圍工作壓力 / 溫度,選擇對應口徑(DN8/DN15)

  3. 確定控制與信號方式(本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出)及特殊需求(防腐 / 高壓)


八、質保與售后

  • 出廠前全流程標定與老化測試,確保性能穩定可靠

  • 質保期:2 年質保,非人為損壞故障免費維修 / 更換

  • 提供全程技術支持:選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持

  • 可定制服務:量程定制、氣體標定、接口定制、特殊工況適配



售后聲明:質保 2 年、提供技術選型與上門調試、量大免費勘測、價格為參考價。


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