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DN8高精密閥控氣體質(zhì)量流量計

DN8高精密閥控氣體質(zhì)量流量計是一款專為DN8 小口徑管路微小氣體流量設(shè)計的一體化測控設(shè)備。采用熱式 MEMS 傳感技術(shù)直接測量氣體質(zhì)量流量,無需溫壓補償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實現(xiàn)流量的閉環(huán)調(diào)節(jié),確保輸出流量穩(wěn)定在設(shè)定值。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2026-05-21
  • 訪  問  量:1760
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產(chǎn)品詳情

DN8高精密閥控氣體質(zhì)量流量計  多欽儀表(上海)有限公司選型推薦


專為微小氣體流量的精密測量與閉環(huán)控制場景打造,集熱式質(zhì)量流量傳感與高精度電磁閥控制于一體,實現(xiàn)高穩(wěn)定性、高重復(fù)性的氣體流量管理,是實驗室、半導(dǎo)體制程、醫(yī)療設(shè)備的理想選擇。


一、核心亮點|一眼看懂價值

? 閥控一體化設(shè)計:集成高精度電磁閥,自帶 PID 閉環(huán)控制,無需額外閥門即可實現(xiàn)流量穩(wěn)定調(diào)節(jié)
? 高精密測量:±0.5% FS 高精度,±0.1% FS 重復(fù)性,滿足嚴苛的微小流量測控需求
? DN8 專用適配:專為 DN8 小口徑管路優(yōu)化,適配微小流量工況,無溫漂、無壓漂
? MEMS 熱式傳感:直接測量質(zhì)量流量,無需溫壓補償,零點長期穩(wěn)定
? 本地顯示 + 按鍵操作:LCD 屏實時顯示流量與設(shè)定值,現(xiàn)場即可完成參數(shù)配置
? 多信號兼容:模擬量(4-20mA/0-5V)+RS485 Modbus 數(shù)字通訊,PLC / 上位機直連
? 標(biāo)準工業(yè)接口:DN8 不銹鋼內(nèi)螺紋 / 卡套接口,安裝便捷,適配多種管路
? 多氣體標(biāo)定:支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、甲烷等多種介質(zhì),可定制標(biāo)定


二、產(chǎn)品概述

DN8高精密閥控氣體質(zhì)量流量計是一款專為DN8 小口徑管路微小氣體流量設(shè)計的一體化測控設(shè)備。采用熱式 MEMS 傳感技術(shù)直接測量氣體質(zhì)量流量,無需溫壓補償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實現(xiàn)流量的閉環(huán)調(diào)節(jié),確保輸出流量穩(wěn)定在設(shè)定值。


設(shè)備廣泛應(yīng)用于實驗室氣相配比、半導(dǎo)體腔體吹掃、醫(yī)療設(shè)備氣體控制、工業(yè)微量供氣等場景,可替代傳統(tǒng) “流量計 + 手動閥" 的組合方案,大幅提升流量控制精度與自動化水平。


三、技術(shù)參數(shù)|精準可信

參數(shù)項規(guī)格說明
公稱通徑DN8
測量原理熱式 MEMS 質(zhì)量流量傳感
控制方式PID 閉環(huán)控制 + 高精度電磁閥
測量精度±0.5%FS
控制精度±1.0%FS
重復(fù)性±0.1%FS
量程范圍0.01sccm ~ 20slm(可定制微小 / 大量程)
量程比1:100
介質(zhì)溫度0~50℃(可擴展 - 10~80℃)
工作壓力0.1~1.0MPa(可定制高壓版)
工作電源DC24V ±10%
功耗≤5W
設(shè)定信號0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數(shù)字信號
反饋信號4-20mA / RS485 Modbus RTU
通訊協(xié)議Modbus RTU(標(biāo)準)
機械接口DN8 不銹鋼內(nèi)螺紋 / 卡套接口(可定制)
閥體材質(zhì)不銹鋼 316L(可選防腐涂層)
防護等級IP40(可選 IP65)
適用氣體空氣、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體(腐蝕性氣體可定制)
預(yù)熱時間3~5 分鐘


四、核心優(yōu)勢|為什么選我們

1. 高精度、高穩(wěn)定性的微小流量控制

  • DN8 專用流道設(shè)計,優(yōu)化流場分布,避免小口徑管路常見的流場畸變問題

  • MEMS 傳感芯片,響應(yīng)速度快,零點長期穩(wěn)定,免頻繁校準

  • 內(nèi)置智能 PID 算法,自動修正上游壓力波動帶來的流量偏差,控制精度可達 ±1.0% FS

2. 閥控一體化,集成度更高

  • 流量計與電磁閥集成設(shè)計,減少管路連接點,降低泄漏風(fēng)險

  • 無需額外配置調(diào)節(jié)閥,一套設(shè)備即可完成 “測量 + 控制 + 反饋" 全流程

  • 體積小巧,適配設(shè)備集成、機柜安裝等緊湊空間

3. 操作與調(diào)試更便捷

  • 自帶 LCD 顯示與按鍵,本地可查看瞬時 / 累計流量、設(shè)定目標(biāo)值、配置通訊參數(shù)

  • 支持本地 / 遠程雙控制模式,現(xiàn)場調(diào)試與自動化控制靈活切換

  • 出廠前已完成氣體標(biāo)定,安裝后無需額外校準,通電即可使用

4. 適配更多精密場景

  • 多氣體標(biāo)定服務(wù),可根據(jù)用戶實際使用氣體進行出廠標(biāo)定,確保測量精度

  • 支持 Modbus RTU 通訊,可與上位機 / PLC 組網(wǎng),實現(xiàn)多通道氣體配比自動化控制

  • 關(guān)鍵部件采用進口電磁閥芯,壽命長、響應(yīng)快,適合長期穩(wěn)定運行


五、功能與操作|快速上手

1. 面板按鍵與顯示

  • 顯示界面:主界面顯示瞬時流量、設(shè)定值、單位;參數(shù)界面顯示介質(zhì)、通訊參數(shù)、PID 參數(shù)

  • 按鍵功能

    • 設(shè)定鍵:修改目標(biāo)流量值、切換控制模式

    • 菜單鍵:進入?yún)?shù)設(shè)置界面(量程、單位、通訊地址、PID 參數(shù))

    • 確認 / 退出鍵:保存設(shè)置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

  • 默認通訊參數(shù):9600bps,8 數(shù)據(jù)位,無校驗,1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置項:設(shè)備地址、波特率、校驗方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標(biāo)況溫度、報警閾值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通過面板按鍵直接設(shè)定目標(biāo)流量,電磁閥自動調(diào)節(jié)

    • 遠程控制:通過模擬量信號或 RS485 數(shù)字信號設(shè)定目標(biāo)流量,實現(xiàn)自動化控制

3. 安裝與接線說明

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,介質(zhì)流向需與閥體標(biāo)注方向一致

  • 安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場穩(wěn)定

  • 接線接口:DB9 航空插頭,支持電源、信號、通訊一體化接線


六、典型應(yīng)用場景|全覆蓋

  • 實驗室科研:氣相色譜儀、微反應(yīng)裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制

  • 半導(dǎo)體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導(dǎo)體設(shè)備工藝供氣

  • 醫(yī)療與生物設(shè)備:呼吸機氧流量控制、麻醉機氣體配比、醫(yī)用制氧設(shè)備流量調(diào)節(jié)

  • 工業(yè)自動化:氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

  • 新能源行業(yè):鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試

  • 精密儀器校準:氣體流量標(biāo)準裝置、檢漏儀流量校準


七、選型指南|3 步精準匹配

  1. 確定氣體介質(zhì)標(biāo)況單位(sccm/slm/NL/min)

  2. 確定流量控制范圍工作壓力 / 溫度

  3. 確定控制與信號方式(本地 / 遠程控制、模擬量 / 數(shù)字量輸出)及特殊需求(防腐 / 高壓)


八、質(zhì)保與售后

  • 出廠前全流程標(biāo)定與老化測試,確保性能穩(wěn)定可靠

  • 質(zhì)保期:2 年質(zhì)保,非人為損壞故障免費維修 / 更換

  • 提供全程技術(shù)支持:選型咨詢、接線指導(dǎo)、參數(shù)調(diào)試、現(xiàn)場技術(shù)支持

  • 可定制服務(wù):量程定制、氣體標(biāo)定、接口定制、特殊工況適配

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