免溫壓補償微型氣體流量計（MEMS 熱式）產品完整資料

一、產品概述

二、核心技術參數

基礎規格

1. 測量原理：MEMS 熱式質量傳感，直測質量流量，免溫壓補償

2. 適用介質：空氣、氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、CO?等潔凈干燥無腐蝕氣體；潮濕 / 含粉塵氣體前端配精密過濾器即可使用

3. 流量量程（可選）：

• 超微量款：0.1~100 sccm（毫升 / 分鐘）

• 常規微型款：0.5~50 SLM（升 / 分鐘）

4. 精度：標準款 ±1.0% FS；高精度款 ±0.5% FS

5. 重復性：≤±0.1% FS

6. 量程比：100:1 寬量程，極低流速穩定測量

7. 響應時間：10~50ms 可調，快速捕捉瞬時流量波動

8. 工作溫度：-10℃~60℃；工作壓力：0~1.0MPa

9. 過程接口：G1/8、G1/4、G3/8 內螺紋，Φ6/8/10mm 卡套快插，DN6~DN15 微型口徑

10. 接液材質：316L 不銹鋼，適配潔凈工藝氣路

11. 信號輸出（多選）：4-20mA、0-5V 電壓、RS485 Modbus-RTU、脈沖信號

12. 供電：9~24VDC 寬電壓；防護等級 IP40/IP52；可選一體式液晶顯示屏（顯示瞬時 / 累計流量）

三、產品核心優勢

1. 免溫壓補償，簡化整套系統

傳統體積流量計（渦街、孔板、浮子）必須配套溫度變送器、壓力變送器、流量積算儀做補償，整套管路接線復雜、多設備疊加誤差；

本儀表單臺直接輸出標準質量流量，不受氣源溫度、管網壓力波動干擾，減少配件采購、安裝、故障點位，降低項目綜合成本。

2. 微小流量無測量盲區

可測量 0.01m/s 極低流速，適配微量吹掃、微量反應供氣、氣體微量配比、管路泄漏監測；

傳統流量計低流速直接失效，本儀表全量程計量穩定。

3. 無活動部件，低壓損、免維護

內部無葉輪、齒輪、軸承等機械結構，不會出現卡堵、磨損故障；

直通流道壓力損失極低，不會增加空壓機、氣瓶供氣負荷，長期運行幾乎無需維護。

4. 微型化機身，適配狹小安裝空間

整機尺寸緊湊，支持機柜內置、實驗臺管路、設備內部集成；

多角度顯示屏可選，狹小空間讀數方便，無需改造大面積管路。

5. 自動化集成友好

多類型信號輸出，可直連 PLC 定量控制柜、工控機、數據采集儀；

搭配自控閥門可實現氣體自動定量供氣、多組分氣體自動配比，支持流量上下限報警連鎖。

四、典型應用行業 + 落地案例

案例 1：精細化工微反應釜微量保護氣供給

• 工況：反應釜持續通入微量氮氣保護，流量 2~15L/min，車間室溫存在波動，氮氣瓶壓力隨使用持續下降；原浮子流量計壓力下降后計量偏差超 8%，影響反應純度。

• 配置：G1/4 螺紋微型氣體質量流量計 + PLC 定量控制模塊

• 使用效果：

• 免溫壓補償設計，氣源壓力、溫度變化流量數值穩定，計量誤差穩定在 1% 以內；

• 設定氮氣供給流量自動恒流，累計用氣數據自動存儲，原料成本核算精準。

案例 2：實驗室氣體精密配比設備（氫氣 + 氮氣混合氣）

• 工況：多路微量氣體混合，單路流量 0.2~10SLM，實驗環境晝夜溫差大，需要精準配比、數據可追溯。

• 配置：多路微型 MEMS 氣體質量流量計 + 多通道觸摸屏控制柜

• 使用效果：

• 每一路獨立計量，無需額外溫壓采集設備；

• 快速響應氣流調節，混合氣配比精度穩定，每批次實驗流量數據本地保存，滿足科研數據溯源要求。

案例 3：光伏 / 半導體設備氬氣吹掃流量監控

• 工況：光伏鍍膜設備、半導體刻蝕機微量氬氣吹掃，流量 5~30SLM，潔凈車間狹小設備內部安裝，對計量穩定性要求高。

• 配置：小型卡套接口微型氣體質量流量計，RS485 通訊對接設備中控

• 使用效果：

• 機身小巧直接集成設備內部，不受車間溫度波動影響；

• 實時上傳瞬時流量至設備系統，流量異常自動報警，保障鍍膜、刻蝕工藝穩定，提升產品良率。

案例 4：生物制藥發酵罐氧氣微量補給

• 工況：發酵罐持續微量通入氧氣，流量 1~20L/min，車間季節溫差大，氧氣鋼瓶壓力持續衰減，需穩定控制供氧流量保證菌種活性。

• 配置：高精度 ±0.5% FS 微型氣體質量流量計，聯動氣動調節閥恒流供氣

• 使用效果：

• 免去溫壓補償儀表，管路布線簡化；

• 全年四季供氧流量波動極小，發酵產物產量穩定，符合醫藥 GMP 工藝參數記錄規范。

案例 5：環保檢測儀器采樣氣流量控制

• 工況：煙氣、空氣在線監測設備內置微量采樣氣路，流量 0.1~5SLM，設備內部安裝空間有限。

• 配置：無顯示迷你款微型氣體質量流量計，0-5V 信號輸出接入檢測儀主板

• 使用效果：

• 機身極小直接嵌入檢測設備，不受戶外環境溫度變化干擾，采樣流量恒定，保證廢氣、空氣檢測數據準確。

五、選型關鍵注意事項

1. 介質潔凈度：儀表適配干燥潔凈氣體；氣體含油污、水霧、粉塵時，流量計上游必須加裝 Y 型精密過濾器 + 氣水分離器，避免污染 MEMS 傳感芯片影響精度。

2. 流量量程匹配：確認實際工作最小、最大流量，選型滿量程為實際最大流量 1.2 倍左右，保證低流量段精度；超微量 sccm 級工況優先選 0.1~100sccm 規格。

3. 溫壓補償需求：僅需質量流量計量、現場氣源溫壓波動大，優先選用本款免溫壓補償微型熱式；若僅需粗略體積讀數、預算有限可選用浮子流量計。

4. 防爆需求：氫氣、甲烷等易燃易爆氣體工況，可選本安防爆款微型氣體質量流量計，適配防爆車間 1 區 / 2 區環境。

5. 集成需求：設備內置、實驗臺安裝選迷你無屏款；現場人工讀數選一體式液晶顯示屏款；對接中控系統優先 RS485 Modbus 輸出。

六、售后說明

1. 儀表整機質保 2 年，MEMS 傳感芯片質保 2 年；

2. 出廠附帶氣體原廠標定證書，支持氮氣、空氣、氫氣等介質單獨標定；

3. 批量采購可遠程指導接線、參數設置，量大支持上門調試；

4. 非標支持：定制特殊流量量程、防爆外殼、多路流量采集控制柜；

5. 頁面報價僅作參考，成交價格隨采購數量、選配功能調整。