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高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)

高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)(DN8/DN15)是一款專為工業(yè)氣體管路設(shè)計(jì)的一體化測(cè)控設(shè)備,采用熱式 MEMS 傳感技術(shù)直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無需溫壓補(bǔ)償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn)流量的閉環(huán)調(diào)節(jié),確保輸出流量穩(wěn)定在設(shè)定值。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-05-21
  • 訪  問  量:1252
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產(chǎn)品詳情

高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)(DN8/DN15)多欽儀表(上海)有限公司選型推薦

專為微小至中小流量氣體精密測(cè)控場(chǎng)景打造,集MEMS 熱式質(zhì)量流量測(cè)量 + PID 閉環(huán)控制 + 高精度電磁閥于一體,DN8/DN15 雙口徑可選,實(shí)現(xiàn)免溫壓補(bǔ)償、高精度、高穩(wěn)定性的流量閉環(huán)管理。


一、核心亮點(diǎn)(雙口徑通用)

? 閥控一體化設(shè)計(jì):測(cè)量 + 控制 + 反饋三合一,無需額外配置調(diào)節(jié)閥
? 超高精度測(cè)量:±0.5% FS 測(cè)量精度,±0.1% FS 重復(fù)性,滿足嚴(yán)苛工況
? 雙口徑可選:DN8(微小流量)/DN15(中小流量),適配不同管路場(chǎng)景
? MEMS 熱式傳感:直接測(cè)量質(zhì)量流量,無需溫壓補(bǔ)償,零點(diǎn)長(zhǎng)期穩(wěn)定
? 本地顯示 + 按鍵調(diào)試:LCD 屏實(shí)時(shí)顯示流量與設(shè)定值,現(xiàn)場(chǎng)即可完成參數(shù)配置
? 全信號(hào)兼容:4-20mA/0-5V 模擬信號(hào) + RS485 Modbus 數(shù)字通訊,PLC / 上位機(jī)直連
? PID 智能閉環(huán)算法:自動(dòng)修正上游壓力波動(dòng),流量控制精度可達(dá) ±1.0% FS
? 標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口:不銹鋼內(nèi)螺紋 / 卡套接口,安裝便捷,適配多種管路


二、產(chǎn)品概述

高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)(DN8/DN15)是一款專為工業(yè)氣體管路設(shè)計(jì)的一體化測(cè)控設(shè)備,采用熱式 MEMS 傳感技術(shù)直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無需溫壓補(bǔ)償;配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn)流量的閉環(huán)調(diào)節(jié),確保輸出流量穩(wěn)定在設(shè)定值。
  • DN8 型號(hào):專為微小流量場(chǎng)景優(yōu)化,適配 sccm~slm 級(jí)超小量程,解決實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體等場(chǎng)景的微量供氣控制難題

  • DN15 型號(hào):適配中小流量工業(yè)場(chǎng)景,支持 NL/min 級(jí)量程,廣泛用于工業(yè)氣體配比、新能源設(shè)備供氣等場(chǎng)景

設(shè)備廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室氣相配比、半導(dǎo)體腔體吹掃、醫(yī)療設(shè)備氣體控制、工業(yè)微量供氣等場(chǎng)景,可替代傳統(tǒng) “流量計(jì) + 手動(dòng)閥 / 比例閥" 的組合方案,大幅提升流量控制精度與自動(dòng)化水平。


三、技術(shù)參數(shù)(分口徑對(duì)比)

高精密閥控氣體質(zhì)量流量計(jì)


四、核心優(yōu)勢(shì)

1. 高精度、高穩(wěn)定性的微小 / 中小流量控制

  • DN8/DN15 專用流道設(shè)計(jì),優(yōu)化流場(chǎng)分布,避免小口徑管路常見的流場(chǎng)畸變問題

  • MEMS 傳感芯片,響應(yīng)速度快,零點(diǎn)長(zhǎng)期穩(wěn)定,免頻繁校準(zhǔn)

  • 內(nèi)置智能 PID 算法,自動(dòng)修正上游壓力波動(dòng)帶來的流量偏差,控制精度行業(yè)


2. 閥控一體化,集成度更高

  • 流量計(jì)與電磁閥集成設(shè)計(jì),減少管路連接點(diǎn),降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)

  • 無需額外配置調(diào)節(jié)閥,一套設(shè)備即可完成 “測(cè)量 + 控制 + 反饋" 全流程

  • 體積小巧,適配設(shè)備集成、機(jī)柜安裝等緊湊空間


3. 雙口徑覆蓋,場(chǎng)景適配更靈活

  • DN8 型號(hào):專注微小流量場(chǎng)景,解決傳統(tǒng)設(shè)備難以穩(wěn)定測(cè)量的 sccm 級(jí)微量供氣需求

  • DN15 型號(hào):適配工業(yè)中小流量場(chǎng)景,滿足氣體配比、燃燒控制等常規(guī)工業(yè)需求

  • 雙口徑統(tǒng)一技術(shù)平臺(tái),維護(hù)與調(diào)試流程一致,降低用戶學(xué)習(xí)成本


4. 操作與調(diào)試更便捷

  • 自帶 LCD 顯示與按鍵,本地可查看瞬時(shí) / 累計(jì)流量、設(shè)定目標(biāo)值、配置通訊參數(shù)

  • 支持本地 / 遠(yuǎn)程雙控制模式,現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試與自動(dòng)化控制靈活切換

  • 出廠前已完成氣體標(biāo)定,安裝后無需額外校準(zhǔn),通電即可使用


五、功能與操作


1. 面板按鍵與顯示

  • 顯示界面:主界面顯示瞬時(shí)流量、設(shè)定值、單位;參數(shù)界面顯示介質(zhì)、通訊參數(shù)、PID 參數(shù)

  • 按鍵功能

    • 設(shè)定鍵:修改目標(biāo)流量值、切換控制模式

    • 菜單鍵:進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面(量程、單位、通訊地址、PID 參數(shù))

    • 確認(rèn) / 退出鍵:保存設(shè)置或返回主界面


2. 通訊與控制配置

  • 默認(rèn)通訊參數(shù):9600bps,8 數(shù)據(jù)位,無校驗(yàn),1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置項(xiàng):設(shè)備地址、波特率、校驗(yàn)方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標(biāo)況溫度、報(bào)警閾值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通過面板按鍵直接設(shè)定目標(biāo)流量,電磁閥自動(dòng)調(diào)節(jié)

    • 遠(yuǎn)程控制:通過模擬量信號(hào)或 RS485 數(shù)字信號(hào)設(shè)定目標(biāo)流量,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制


3. 安裝與接線說明

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,介質(zhì)流向需與閥體標(biāo)注方向一致

  • 安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場(chǎng)穩(wěn)定

  • 接線接口:DB9 航空插頭,支持電源、信號(hào)、通訊一體化接線


六、典型應(yīng)用場(chǎng)景

  • 實(shí)驗(yàn)室科研:氣相色譜儀、微反應(yīng)裝置氣體配比、催化劑測(cè)試供氣控制

  • 半導(dǎo)體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導(dǎo)體設(shè)備工藝供氣

  • 醫(yī)療與生物設(shè)備:呼吸機(jī)氧流量控制、麻醉機(jī)氣體配比、醫(yī)用制氧設(shè)備流量調(diào)節(jié)

  • 工業(yè)自動(dòng)化:氣體混合配比、檢漏測(cè)試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

  • 新能源行業(yè):鋰電池注液保護(hù)氣控制、燃料電池供氣測(cè)試

  • 精密儀器校準(zhǔn):氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置、檢漏儀流量校準(zhǔn)


七、選型指南(3 步精準(zhǔn)匹配)

  1. 確定氣體介質(zhì)標(biāo)況單位(sccm/slm/NL/min)

  2. 確定流量控制范圍工作壓力 / 溫度,選擇對(duì)應(yīng)口徑(DN8/DN15)

  3. 確定控制與信號(hào)方式(本地 / 遠(yuǎn)程控制、模擬量 / 數(shù)字量輸出)及特殊需求(防腐 / 高壓)


八、質(zhì)保與售后

  • 出廠前全流程標(biāo)定與老化測(cè)試,確保性能穩(wěn)定可靠

  • 質(zhì)保期:2 年質(zhì)保,非人為損壞故障免費(fèi)維修 / 更換

  • 提供全程技術(shù)支持:選型咨詢、接線指導(dǎo)、參數(shù)調(diào)試、現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)支持

  • 可定制服務(wù):量程定制、氣體標(biāo)定、接口定制、特殊工況適配


售后聲明:質(zhì)保 2 年、提供技術(shù)選型與上門調(diào)試、量大免費(fèi)勘測(cè)、價(jià)格為參考價(jià)。

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