微量空氣流量表｜MEMS 熱式質量流量儀表 實驗室小口徑潔凈空氣吹掃精密流量監測表

微量空氣流量表針對毫升至幾十標升每小時的微量空氣工況開發，以熱式質量測量結構為主，無需額外溫壓補償，直接輸出標況質量流量，采用螺紋、卡套小接口，適配狹小試驗管路，多用于實驗室供氣、設備吹掃、小試工藝空氣配比、微小支路空氣流量監測。

一、工況難點

微量空氣屬于低流速工況，普通渦街、浮子流量計存在測量下限盲區，氣量很小時無法捕捉有效信號，出現漏計情況。空氣屬于可壓縮氣體，管路壓力出現波動，工況體積流量隨之發生改變，如果只測量體積流量，計量數據偏差會明顯增大。

被測管路大多為細小支管，安裝空間比較狹小，很多為間歇供氣工藝，流量變化幅度大。空氣中帶入的粉塵、水汽油霧容易附著傳感元件表面，造成讀數漂移。部分工藝現場有防爆要求，電氣部件需要匹配對應的防爆等級。管路靠近閥門、接頭，氣流擾動也會對微小流量測量帶來干擾。

二、產品概述

微量空氣 流量表主流采用 MEMS 熱式質量流量結構，也可選用玻璃轉子、金屬管浮子作為就地觀測方案。

熱式微量空氣 流量表依靠熱擴散原理直接測量氣體質量流量，不需要配套溫度壓力補償部件，量程比寬，微小流量響應靈敏，壓力損失低。氣體流過傳感芯片，帶走熱量，通過熱量變化換算得到瞬時流量與累計流量數值。儀表配置液晶顯示屏幕，現場直接讀取流量參數，同時輸出標準信號遠傳至控制系統。接液本體選用 316L 不銹鋼材質，接口多采用卡套、小螺紋形式，適配細小試驗管路，無機械運動部件，日常維護工作量小。介質含有粉塵、油霧的工況，前端需要配置過濾器，保護傳感芯片不受污染。

玻璃、金屬管浮子類型的微量空氣 流量表，結構簡單，用于只需要現場就地目視讀數的場景。浮子隨空氣流量大小上下浮動，完成流量指示，氣體工況需要按照實際工作壓力溫度完成量程換算，壓力波動會帶來一定測量偏差，可加裝變送模塊實現遠傳輸出。

三、選型參考

需要遠程采集標況質量流量，壓力波動較大的管路，優先選用 MEMS 熱式微量空氣 流量表。只做現場巡檢觀察，沒有遠傳需求，可選用玻璃或者金屬管浮子流量計。

核對標況下實際空氣流量范圍，保證常用流量落在儀表合適量程區間。空氣含有粉塵、水汽、油霧，儀表上游配置過濾器，過濾雜質，避免污染傳感元件。

確認管路接口規格，小口徑試驗管路優先卡套、螺紋連接。有防爆使用需求，選用本安防爆規格。訂貨同步確認工作壓力、介質溫度、供電電壓、信號輸出類型。

四、技術參數

適配介質，潔凈干燥空氣。

流量范圍，毫升每分鐘至幾十標升每小時。

公稱通徑，DN4?DN15，卡套、螺紋連接。

接液材質，316L 不銹鋼。

壓力等級，PN10?PN16。

介質溫度，?20℃至 80℃。

測量精度，熱式 ±1.0% FS，浮子型 ±1.5%。

量程比，熱式可達 100 比 1，浮子 10 比 1。

信號輸出，液晶就地數顯，4?20mA，脈沖，RS485 Modbus。

供電，24VDC。

防護等級 IP65，防爆等級可按需配置。

五、安裝規范

儀表按照表體標識流向進行安裝，上游保留不少于五倍管徑直管段，下游保留三倍管徑直管段，調節閥布置在儀表下游。

管路保持潔凈干燥，上游配套過濾器，攔截粉塵油霧雜質。盡量減少管路接頭，降低泄漏概率，氣體管路做好氣密性檢測，管路泄漏會直接造成測量數據失真。

儀表安裝位置避開振動源、熱源，減少外界環境對傳感芯片的干擾。儀表本體不要承受管道應力，細小管路增加支撐。信號線纜采用屏蔽線纜，做好接地處理，遠離變頻器等強干擾設備。防爆場景嚴格按照防爆規范接線施工。

定期檢查過濾器濾芯，及時清理更換，保障儀表長期穩定運行。

六、應用場景

廣泛用于高校實驗室小試裝置，設備空氣吹掃管路，小型配比試驗設備，精細化工工藝空氣支路，檢測儀器配套微小空氣流量監測。