一、產品簡介

二、核心賣點

1. 超微量測量靈敏度

   可測 0.001L/min（sccm 級）微氣流，解決傳統儀表小流量漂移、檢測盲區問題，微小泄漏、微量供氣均可穩定捕捉。

2. MEMS 高精度傳感

   ±0.5%~±1.0% FS 測量精度，重復性≤±0.2% FS，內置溫度自補償算法，抑制環境溫差造成零點漂移。

3. 免溫壓補償直測質量流量

   熱式恒溫差原理，直接輸出標準質量流量，無需搭配溫度、壓力變送器，簡化整套氣路控制系統。

4. 直通式低阻無壓損

   內部無節流、無阻擋結構，氣流通過阻力極小，不會干擾原有微量氣路壓力平衡，適配低壓微流量管線。

5. 多口徑微型適配

   DN3/DN6/DN8/DN10 小口徑全覆蓋，卡套 / 標準內螺紋兩種連接，適配毛細管、微型試驗管路狹小安裝空間。

6. 毫秒級快速響應

   T98 響應時間≤100ms，可實時追蹤動態微量氣流變化，適配氣體配比、瞬態泄漏監測工況。

7. 多信號智能輸出

   標配 4-20mA 模擬量、RS485 Modbus-RTU 數字通訊，可選脈沖流量累積輸出，無縫對接 PLC、工控機、數據采集儀。

8. 防爆 / 工業雙版本可選

   標準工業款 IP65 防護；可選本安防爆 Ex ia ⅡC T4，適配氫氣、甲烷等易燃易爆微量氣體測量。

三、完整技術參數

四、產品優勢

1. 解決微流量測量痛點

   傳統浮子、孔板流量計在低流速下存在測量盲區、精度差；本產品芯片靈敏度高，零點穩定，極小氣流也能精準讀數。

2. 系統集成成本更低

   無需配套溫壓補償元件，單臺儀表即可輸出標準質量流量數據，減少管線配件、布線、編程工作量。

3. 體積小巧易集成

   整機尺寸緊湊，可嵌入實驗設備、分析儀器、小型自動化設備內部，不占用實驗臺 / 機柜空間。

4. 長期低維護

   無葉輪、無彈簧等活動易損件，直通流道不易積灰堵塞，僅需每年一次簡易吹掃校準，運維成本低。

5. 高純氣體適配

   316L 不銹鋼流道無橡膠吸附層，不會污染特種高純工藝氣體，滿足半導體、生化實驗室潔凈要求。

五、典型應用場景

1. 實驗室科研

   微量氣體配比、催化反應氣路、微量氣體標定、熱重 / 質譜配套載氣計量；

2. 半導體 & 光伏

   CVD/PVD 微量工藝保護氣、特種硅烷 / 磷化氫微量供氣監測、晶圓吹掃氣計量；

3. 分析檢測儀器

   氣相色譜 GC、質譜儀微量載氣控制、尾氣微量成分流量采集；

4. 新能源氫能

   燃料電池微量氫氣供給、氫燃料電池臺架微量配氣、氫氣管路微泄漏監測；

5. 生物醫藥

   細胞發酵微量供氧、生物反應器 CO?微量補充、醫用制氧機微小流量監測；

6. 氣密性檢測

   電池殼體、精密零部件微小泄漏定量檢測，判定微量漏氣量；

7. 工業自動化

   設備氮氣微量吹掃、微型氣動保護氣、小型產線微量工藝氣在線監控。

六、安裝與使用說明

1. 流向要求：按照閥體表面 “FLOW" 箭頭安裝，介質流向與標識保持一致；

2. 直管段要求：微小流量工況放寬，上游≥3DN、下游≥2DN 即可，無需長直管；

3. 介質預處理：氣體必須干燥無油、無固體粉塵，上游加裝 5μm 微型過濾器，保護 MEMS 傳感芯片；

4. 電氣接線：通訊信號線采用雙屏蔽線纜，遠離變頻器、大功率電機，單獨接地降低電磁干擾；

5. 零點校準：儀表支持一鍵自動空管零點校準，無需拆卸管路，長期使用定期校準保證精度。

七、售后保障

1. 整機質保 2 年，每臺出廠均經過標準氣體實流標定，附帶校準證書、產品合格證；

2. 免費提供選型方案、氣路布局指導、現場參數調試；

3. 支持非標量程、特殊介質標定、高壓、高溫、防爆、衛生級定制；

4. 終身提供流量校準、故障檢修、軟件參數修改技術服務。