微小流量氣體流量計(jì)（熱式為主） 多欽儀表（上海）有限公司選型推薦

一、主流類型與核心參數(shù)

1. 熱式質(zhì)量流量計(jì)

• 原理：熱擴(kuò)散 / 恒溫差，測(cè)氣體帶走熱量算質(zhì)量流量。

• 量程：2sccm~50slm（標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘），可測(cè)0.01mL/min級(jí)。

• 精度：±0.5%~±1.5% FS，重復(fù)性 ±0.2%。

• 口徑：DN6~DN15，接口 1/8"、1/4" 卡套 / 快插。

• 耐溫：-20~+80℃；耐壓：≤1MPa。

• 輸出：4-20mA、RS485、脈沖；本地?cái)?shù)顯。

• 特點(diǎn)：直接質(zhì)量流量、無(wú)溫壓補(bǔ)償、無(wú)活動(dòng)部件、響應(yīng)快（≤1s）、低壓損。

2. 微型科里奧利質(zhì)量流量計(jì)（高精度）

• 量程：低至 0.1g/h，DN0.5~DN4。

• 精度：±0.1%~±0.2%，可測(cè)氣體 / 液體。

• 特點(diǎn)：不受組分、溫壓影響；可測(cè)密度。

• 局限：價(jià)格高、壓損大。

3. 層流差壓流量計(jì)（組分可變）

• 原理：層流狀態(tài)下差壓與流量線性相關(guān)。

• 特點(diǎn)：適配組分變化混合氣；耐壓高（可達(dá) 10MPa）。

• 局限：需定期標(biāo)定；對(duì)潔凈度要求高。

4. 微型浮子流量計(jì)（低成本）

• 量程：10mL/min~10L/min。

• 精度：±2.5% FS，現(xiàn)場(chǎng)直讀。

• 特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低；無(wú)需電源。

• 局限：需溫壓換算；精度低；不耐高壓。

二、工況選型

• 實(shí)驗(yàn)室 / 高純氣 / 吹掃氣 / 微量配比 → 熱式（2sccm 起）。

• 高精度貿(mào)易 / 催化劑加注 / 稀有氣體 → 微型科里奧利。

• 混合氣 / 組分波動(dòng) / 高壓 → 層流差壓式。

• 低成本 / 現(xiàn)場(chǎng)直讀 / 低壓 → 微型浮子。

三、關(guān)鍵選型參數(shù)

1. 流量范圍：常用流量在滿量程10%~90%；量程比≥1:50（熱式可達(dá) 1:100）。

2. 氣體種類：純氣（N?、O?、Ar、CO?）選熱式；混合氣選層流差壓式。

3. 材質(zhì)：316L 不銹鋼（常規(guī)）、哈氏合金（腐蝕）、PTFE 密封。

4. 防爆：Ex ib IIC T4（氫氣 / 甲烷等易爆氣）。

5. 安裝：水平 / 垂直均可；前≥5DN、后≥3DN 直管段；避免振動(dòng)。

四、安裝與運(yùn)維

1. 必須潔凈干燥，前端可裝 2μm 過(guò)濾器。

2. 避免脈動(dòng)流（如泵后），必要加減壓罐 / 緩沖器。

3. 每年校準(zhǔn)一次；零點(diǎn)漂移時(shí)現(xiàn)場(chǎng)清零。

4. 長(zhǎng)期不用時(shí)密封接口，防灰塵 / 濕氣進(jìn)入。

五、典型應(yīng)用

• 實(shí)驗(yàn)室：氣相色譜、氣體分析、微量反應(yīng)氣配比。

• 半導(dǎo)體：晶圓吹掃、載氣控制、高純氣輸送。

• 化工：微反應(yīng)器進(jìn)料、催化劑微量添加、惰性氣體保護(hù)。

• 醫(yī)療：氧氣 / 麻醉氣精準(zhǔn)輸送、呼吸機(jī)流量監(jiān)測(cè)。