微小氣體流量控制器  多欽儀表（上海）有限公司

一、核心亮點｜一眼看懂價值

二、產品概述

微小氣體流量控制器（MFC）是一款集流量測量、PID 閉環控制、信號反饋于一體的智能設備，采用熱式 MEMS 傳感芯片與精密電磁閥，專為微小流量、清潔氣體的精密控制場景設計。

設備無需溫壓補償，即可實現質量流量的直接測量與穩定調節，廣泛應用于半導體制程、實驗室氣相反應、醫療設備、精密儀器校準等場景，是替代傳統浮子流量計 + 手動閥的升級方案。

三、技術參數｜詳細明確

四、核心優勢｜為什么選我們

1. 控制更穩更準

• 內置PID 智能調節算法，流量波動自動修正，穩定度更高

• MEMS 傳感芯片，抗干擾能力強，零點長期穩定，免頻繁校準

• 直接測量質量流量，不受介質溫度、壓力波動影響，控制誤差更小

2. 操作與集成更靈活

• 自帶 LCD 顯示與按鍵，本地可設置目標流量、單位、通訊參數，無需上位機即可調試

• 模擬量 + 數字量雙信號交互，兼容 PLC、DCS、上位機系統，支持單臺控制與多臺組網

• 支持多氣體切換與標況單位（sccm、slm、NmL/min）自定義，適配不同場景需求

3. 適配更多復雜場景

• 超小量程覆蓋，解決實驗室微反應、半導體微量供氣等傳統設備難以控制的場景

• 閥體與控制模塊一體化設計，體積小巧，適配設備集成、機柜安裝等緊湊空間

• 支持定制防腐蝕閥體、防爆外殼、高壓接口，滿足特殊工況需求

4. 長期使用更省心

• 關鍵部件采用精密電磁閥與抗老化密封材料，使用壽命長，維護成本低

• 支持故障自診斷與報警反饋，異常流量、通訊故障可快速識別

• 全系列產品出廠前經過嚴格標定與老化測試，性能穩定可靠

五、功能與操作｜快速上手

1. 面板按鍵與顯示

• 顯示界面：實時顯示當前流量值、設定值、單位、工作狀態

• 按鍵功能：

• 設定鍵：修改目標流量值

• 菜單鍵：進入參數設置界面（量程、單位、通訊、PID 參數）

• 確認 / 退出鍵：保存設置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

• 默認通訊參數：9600bps，8 數據位，無校驗，1 停止位（Modbus RTU）

• 可配置項：設備地址、波特率、校驗方式、流量單位、標況溫度、報警閾值

• 控制模式：

• 本地控制：通過面板按鍵直接設定目標流量

• 遠程控制：通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量

3. 安裝與接線說明

• 安裝方式：水平 / 垂直安裝均可，建議介質流向與閥體標注方向一致

• 接線接口：DB9 / 航空插頭可選，支持電源、信號、通訊一體化接線

• 安裝要求：前后保留直管段，避免閥門、彎頭直接靠近閥體，影響流場穩定

六、典型應用場景｜全覆蓋

• 半導體與電子制程：晶圓制程供氣、腔體吹掃、微量載氣控制

• 實驗室科研：氣相色譜儀、微反應裝置、氣體配比實驗、催化劑測試

• 醫療與生物設備：呼吸機氧流量控制、麻醉機氣體配比、醫用氣體檢測

• 工業自動化：氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

• 新能源行業：鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試

• 航空航天：精密氣路流量校準、泄漏檢測、環境模擬試驗

七、選型指南｜3 步精準匹配

1. 確定氣體介質與標況單位（sccm/slm/NmL/min）

2. 確定流量控制范圍（如 0~100sccm、0~5slm）

3. 確定控制與信號方式（本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出）

八、質保與售后

• 出廠前全流程標定與老化測試，確保性能穩定

• 質保期：1 年質保，非人為損壞故障免費維修 / 更換

• 提供技術支持：選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持

• 可定制服務：量程、氣體、接口、通訊協議、特殊工況適配