微小空氣流量計｜實驗室工藝微小空氣吹掃流量表 熱式質量 / 轉子微量空氣計量儀表

微小空氣流量計針對 sccm 至 slpm 級別微小空氣工況，適配實驗室吹掃、設備助風、工藝微量送風；包含轉子就地指示、熱式質量遠傳兩類方案，小螺紋卡套接口，熱式方案無需溫壓補償，可輸出標況流量，用于小試裝置、試驗設備、自動化配套微小空氣管路監測。

一、工況難點

微小空氣屬于極低流速工況，普通渦街、旋進旋渦存在測量下限盲區，微小吹掃氣量無法采集有效信號。

 空氣屬于可壓縮氣體，供氣壓力波動會改變工況體積流量，轉子類儀表按空氣標定，壓力變化會帶來讀數偏差。

 氣源容易帶入油霧、水汽、細微雜質，會污染傳感元件，造成零點漂移、部件卡滯。 

部分現場只需要現場目視讀數，部分需要采集標況流量接入 PLC、試驗控制系統。

 管路大多為微型卡套、細螺紋接口，安裝空間緊湊；

玻璃管轉子儀表受磕碰容易破損。

 間歇通氣工況，氣流啟停脈動，容易造成讀數跳動，影響試驗數據重復性。

二、產品概述

微小 空氣流量計主流分為變面積轉子流量計、熱式氣體質量流量計。 

變面積轉子流量計包含玻璃管、金屬管浮子結構，介質自下而上流過錐管，浮子懸浮高度對應流量，純機械無需供電，部分型號集成針閥可以就地調節氣量，金屬管浮子可增加變送模塊實現信號輸出。轉子儀表為標況空氣標定，壓力發生變化時需要做修正換算。

 熱式微小質量流量計采用熱擴散原理，直接測量氣體質量流量，不受溫度壓力波動影響，輸出標況流量，測量下限低，微小吹掃流量響應靈敏，支持數顯、4?20mA、RS485 輸出，方便自動化系統采集記錄。

重要說明：追求標況真實流量、自動化數據采集，優先選用熱式質量流量計；介質必須保持潔凈干燥，氣源含有油霧水汽前端需要配置過濾處理單元。

三、主要技術參數

測量介質：潔凈干燥空氣，也適配氮氣等惰性氣體 

測量量程（標況）：0.01?100SLPM，覆蓋 sccm 超微量至小流量區間 

精度等級：轉子型 ±2.5% FS；熱式質量型 ±0.5% FS、±1.0% FS 

量程比：轉子 10 比 1；熱式最高 100 比 1；建議實際使用流量處于量程 30%?80% 區間 

最大工作壓力：玻璃轉子≤1.0MPa；金屬轉子 1.6MPa；熱式質量 1.0MPa，高壓規格可定制 

介質溫度：?20～+120℃ 

接液材質：高硼硅玻璃、304、316L 不銹鋼；密封 FKM 氟橡膠 

連接方式：G1/8、G1/4、G3/8、1/4"NPT 螺紋；Φ6/Φ8 卡套 

可選配置：內置調節針閥、玻璃防護罩、就地數顯、4?20mA、RS485?Modbus、本安防爆 

供電方式：轉子就地指示無供電；熱式、遠傳型號 DC24V 供電

四、產品特點

方案選擇豐富，機械式轉子無需供電，成本友好，適合現場目視巡檢；熱式質量流量計不受溫壓干擾，直接輸出標況質量流量，微小流量響應靈敏。部分儀表集成針閥，儀表本體直接調節空氣輸出，簡化管路閥件配置。 

整機體積小巧，卡套、小螺紋接口適配實驗臺、設備內部狹小管路布局。 

壓力損失小，不會對微小空氣供氣回路造成額外負載。 

熱式無機械運動部件，不易卡滯，適合長期連續吹掃工況；遠傳型號可以對接自動化系統完成數據存儲記錄。

五、適用與不適用工況

適用場景：實驗室微小空氣吹掃；試驗設備微量助風供氣；小試裝置工藝微量送風；分析儀器空氣支路；設備保護吹掃空氣管路。

不適用工況：介質含有粉塵、油霧、大量水汽，沒有前置過濾；強腐蝕性氣體；貿易結算計量；劇烈振動工況；普通玻璃轉子無法直接輸出標況質量流量。

六、安裝規范

轉子流量計必須垂直安裝，介質流向自下而上，垂直度偏差≤2°，傾斜會帶來讀數偏差、浮子卡滯。 

上游配置調壓閥、精密氣體過濾器，穩定供氣壓力，過濾雜質，減少浮子跳動。 

進出口管路獨立支撐，管道應力不得施加在儀表本體，玻璃管儀表做好防護，避免外力撞擊。

 閥門緩慢啟閉，禁止瞬間氣流沖擊，防止損壞內部元件。 

管路做好除水，冷凝水不得進入儀表腔體。 

熱式質量流量計按照殼體流向標識安裝，遠離強磁場振動源；防爆工況嚴格按照防爆規范接線接地。

七、選型需要提供參數

空氣標況流量范圍；實際工作壓力、介質溫度；

是否需要自帶針閥；接口規格；就地讀數還是需要遠傳標況信號；

氣源潔凈程度；現場振動情況；是否需要防爆。

八、應用場景

高?？蒲袑嶒炇椅⑿】諝饣芈?；各類試驗設備微量空氣供氣；

小試裝置工藝吹掃；分析儀器供氣支路；

自動化設備微量送風管線。

FAQ

Q：玻璃轉子讀數可以直接作為空氣標況流量嗎？

 A：常壓工況下可以參考，供氣壓力發生變化時，需要做壓力換算修正。

Q：微小空氣吹掃流量浮子不停跳動是什么原因？

 A：氣源壓力波動，缺少穩壓閥；管路氣流脈動；管路存在冷凝水汽；儀表安裝不垂直。

Q：微小空氣流量需要接入 PLC，轉子可以實現嗎？ 

A：普通玻璃轉子無電遠傳，選用帶變送金屬管浮子或者熱式微小質量流量計。

Q：氣源含有少量油霧怎么處理？ 

A：前端配套除油除水過濾器，防止污染傳感器與浮子部件。