微量氮氣流量計｜熱式質量 / 轉子微小氮氣流量表 吹掃氮封惰性氣體精密監測儀表  多欽儀表（上海）有限公司推薦

微量氮氣流量計針對 sccm?slpm 級別微小氮氣工況，覆蓋玻璃轉子、金屬管浮子、熱式質量多種方案；適配設備吹掃、反應釜氮封、實驗小試惰性保護氣；可就地目視讀數，也可輸出標況質量流量信號對接控制系統，小螺紋、卡套接口適配狹小試驗管路。

一、工況難點

微量氮氣屬于極低流速工況，普通渦街、旋進旋渦存在測量下限盲區，微小吹掃流量無法有效采集信號。

氮氣屬于可壓縮氣體，供氣壓力波動會直接改變工況體積流量，轉子類儀表空氣標定刻度不能直接作為氮氣真實流量。

實驗及設備管路壓力容易發生脈動，造成浮子跳動、讀數漂移，影響試驗數據重復性。

部分工況既要現場直觀觀察流量，又需要采集標況流量數據接入 PLC、試驗控制系統。

管路大多為小口徑卡套、細螺紋接口，安裝空間緊湊；玻璃管儀表受外力磕碰易破損。

氣源帶入油霧、水汽、粉塵，會污染傳感器或者浮子組件，造成讀數異常、部件卡滯。

二、產品概述

微量氮氣 流量計主要分為變面積轉子流量計與熱式氣體質量流量計兩類。

變面積轉子流量計包含玻璃管、金屬管浮子，介質自下而上流過錐管，浮子懸浮高度對應流量，純機械無需供電，部分型號集成針閥可直接調節氮氣流量，金屬管浮子可增加變送模塊實現信號遠傳。注意轉子為空氣標定，測量氮氣需要進行介質換算。

熱式微量質量流量計基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量，不受壓力溫度波動影響，輸出標況流量，下限低，適合微小吹掃流量，支持數顯、4?20mA、RS485 輸出，便于自動化系統采集記錄。

重要說明：追求標況真實流量、自動化數據采集，優先選用熱式質量流量計；介質必須保持潔凈干燥；含有油霧水汽前端必須配置氣體過濾處理單元。

三、主要技術參數

測量介質：潔凈干燥氮氣、氬氣等惰性氣體

測量量程（標況）：0.01?100SLPM，覆蓋 sccm 超微量至小流量區間

精度等級：轉子型 ±2.5% FS；熱式質量型 ±0.5% FS、±1.0% FS

量程比：轉子 10:1；熱式最高 100:1；建議實際使用流量處于量程 30%?80% 區間

最大工作壓力：玻璃轉子≤1.0MPa；金屬轉子 1.6MPa；熱式質量 1.0MPa，高壓規格可定制

介質溫度：?20～+120℃

接液材質：高硼硅玻璃、304、316L 不銹鋼；密封 FKM 氟橡膠

連接方式：G1/4、G3/8、1/4"NPT 螺紋；Φ6/Φ8 卡套

可選配置：內置調節針閥、玻璃防護罩、就地數顯、4?20mA、RS485?Modbus、本安防爆

供電方式：轉子就地指示無供電；熱式、遠傳型號 DC24V 供電

四、產品特點

方案選擇豐富，機械式轉子無需供電，成本友好，適合現場目視巡檢；熱式質量流量計不受溫壓干擾，直接輸出標況質量流量，微小流量響應靈敏。

部分儀表集成針閥，可直接在儀表本體調節氮氣輸出，簡化管路閥件。本體小巧輕薄，卡套、小螺紋接口適配實驗臺、設備內部狹小管路。

壓力損失小，不會對氮氣供氣回路造成額外負載，不影響后端工藝供氣。熱式無機械運動部件，不易卡滯，適合長期連續吹掃工況；遠傳型號可對接自動化系統做數據存儲與記錄。

五、適用與不適用工況

?適用場景：實驗室微量氮氣吹掃；反應釜氮封保護；熱處理設備微量惰性氣保護；新材料小試裝置；分析儀器供氣支路；小型制氮機微量分支管路。

?不適用工況：介質含有粉塵、油霧、大量水汽；強腐蝕性氣體；貿易結算計量；劇烈振動工況；普通玻璃轉子無法直接輸出標況質量流量。

六、安裝規范

轉子流量計必須垂直安裝，介質流向自下而上，垂直度偏差≤2°，傾斜會造成讀數偏差、浮子卡滯。

上游配置調壓閥、精密氣體過濾器，穩定供氣壓力，過濾雜質，減少浮子跳動。進出口管路獨立支撐，管道應力不得施加在儀表本體，玻璃管儀表做好防護，避免外力撞擊。閥門緩慢啟閉，禁止瞬間氣流沖擊，防止損壞內部元件。

管路做好除水，冷凝水不得進入儀表腔體。熱式質量流量計按照殼體流向標識安裝，遠離強磁場振動源；防爆工況嚴格按照防爆規范接線接地。

七、選型需要提供參數

氮氣標況流量范圍；

實際工作壓力、介質溫度；是否需要自帶針閥；

接口規格；就地讀數還是需要遠傳標況信號；

氣源潔凈程度；現場振動情況；是否防爆。

八、應用場景

高校科研小試微量氮氣回路；

化工反應釜氮封吹掃；

熱處理爐微量保護氣；

分析儀器設備供氣；

新材料試驗裝置惰性氣回路。

FAQ

Q：玻璃轉子讀數可以直接作為氮氣標況流量嗎？

A：不可以，出廠刻度為空氣標定，氮氣密度、現場壓力溫度會帶來偏差，需要做換算修正。

Q：微量吹掃流量浮子持續跳動是什么原因？

A：氣源壓力波動，缺少穩壓閥；管路氣流脈動；存在冷凝水汽；儀表安裝不垂直。

Q：需要把微量氮氣流量接入 PLC，轉子可以實現嗎？

A：普通玻璃轉子無電遠傳；選用帶變送金屬管浮子或者熱式微量質量流量計。

Q：氣源含有少量油霧怎么處理？

A：前端配套除油除水過濾器，防止污染傳感器與浮子部件。